Gebraucht ESI / MICROVISION 3900 #9255782 zu verkaufen

ID: 9255782
Weinlese: 1998
IC Mark / Lead inspection system 1998 vintage.
ESI/MICROVISION 3900 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die von ESI für die Herstellung von mikroelektronischen Komponenten, wie integrierten Schaltungen (ICs), entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche Lithographiesystem kombiniert die Scanelektronenmikroskop (SEM) -Technologie und die automatische Mustererkennung, um die Inspektion von Photomasken und Resistmusterscheiben für Linienbreite (kritische Dimension oder CD) und Musterintegrität zu ermöglichen. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine effiziente Bedienung und Datenerfassung. Es implementiert sowohl manuelle als auch automatisierte Operationen, sodass Benutzer den Inspektionsmodus und die Parameter für ihre spezifische Anwendung konfigurieren können. Zu den Prüfparametern gehören sowohl der zu prüfende Bereich des Wafers (z. B. die aktiven Gerätebereiche oder ADA) als auch die zu prüfenden Schaltungselemente (z. B. Leitungssegmente und Vias). Hochauflösende Bilder können mit ESI 3900 erhalten werden, was eine genaue Fehlererkennung und -messung ermöglicht. Es ist mit einem Elektronenstrahlstrom von 0,5 nA bis 10 nA und einer Auflösung von 0,2 μ m ausgestattet. Zusätzlich können Muster mit bis zu 0,3 μ m Linienbreite zuverlässig identifiziert werden. Es wird von einem Windows XP Professional-Bediengerät für eine zuverlässige Werkzeugsteuerung angetrieben. Neben grundlegenden Inspektions- und Messfunktionen bietet das Asset auch die Möglichkeit, benutzerdefinierte Prüfregeln für komplexere Muster zu definieren. Eingabedaten können direkt aus einem IC-Layout oder einer CAD-Zeichnung gewonnen oder mit einer vorhandenen Inspektionsbibliothek verbunden werden. Die Untersuchungsergebnisse werden in einem Industriestandard-Format gemeldet, und bei Bedarf können statistische Analysen an Messdaten durchgeführt werden, um Muster oder Trends zu erkennen, die auf ein Prozessversagen hinweisen. MICROVISION 3900 wurde entwickelt, um schnelle, gründliche, genaue und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektion für Mikroelektronik-Komponenten bereitzustellen. Seine robusten Fähigkeiten, seine hohe Auflösung, sein erweitertes Funktionsset und seine Benutzerfreundlichkeit machen es für eine Vielzahl von Branchen geeignet, die Qualitätskontrolle und eine eingehende Analyse von Fertigteilen erfordern.
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