Gebraucht ESI / MICROVISION MV 853 #9104086 zu verkaufen

ESI/MICROVISION MV 853 mask & wafer inspection equipment ist ein beschleunigergetriebenes, umfassendes Inspektions- und Messtechnikwerkzeug für hochpräzise Messungen von Photomasken und Wafern. Das System kombiniert die führende Leistung der ESI MV-Familie mit überlegener Partikeldynamik und bietet eine komplette Lösung für die Anforderungen anspruchsvoller Masken- und Wafer-Inspektionssysteme für die Halbleiterindustrie. ESI MV 853 ist eine vollautomatische Einheit, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Masken- und Wafergeometrien mit beispielloser Geschwindigkeit und Genauigkeit zu prüfen und zu messen. Es bietet die höchste Auflösung der heute verfügbaren Bildgebung und ist mit mehreren präzisen Messwerkzeugen wie Layout Comparison (LQV), Overlay Measurement (OVM), Spectral Reflectivity und Wavelength Dependent Measurement (WMD) sowie einem zuverlässigen Defect Detection Module (DDM) ausgestattet. Die proprietäre Hochdurchsatz-Datenerfassungstechnologie der Maschine nutzt modernste Beschleuniger und Spiegel für hervorragende Geschwindigkeit und Durchsatz. Es bietet einen dynamischen Bereich von bis zu 60dB und misst die Funktionsgrößen bis zu 5,1 nm im DIWNAE-Modus (Deep Isolated Wide Noise and Edge Effect). Darüber hinaus ermöglicht die erweiterte Signalfähigkeit dem Werkzeug eine bessere Unterscheidung zwischen Defekten und Fehlern bei gleichzeitig höherer Messgenauigkeit und Erkennungsgenauigkeit. Weitere Merkmale von MICROVISION MV 853 sind Auto Focus, Pattern Shooting, Field of View Finder, Intermediate Focus, Dynamic Focus und Resolution Range Extender. Die Funktion Automatischer Fokus führt den Benutzer automatisch zur optimalen Fokuseinstellung basierend auf der Wafer/Maskentiefe. Das Musteraufnahmen-KE erfasst Bilder von vordefinierten Mustern oder rechteckigen Bereichen von Interesse auf der Maske. Der Field of View Finder (FOVF) ermöglicht es Benutzern, mehrere Bilder in verschiedenen Orientierungen und Vergrößerungen zu erfassen. Die Intermediate Focus Funktion scannt schnell den gesamten Wafer, um die optimalen Fokuseinstellungen zu finden. Mit Dynamic Focus können Sie schnell die optimalen Fokuseinstellungen für Bereiche oder Interessengebiete finden. Schließlich ermöglicht der Auflösungsbereich-Extender es Benutzern, kleinere Merkmale zu messen, die mit beugungsbeschränkter Optik nicht möglich sind. MV 853 ist eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektion, die hochpräzise Messungen mit optimalem Durchsatz und Genauigkeit für eine breite Palette von Masken- oder Wafergeometrien liefert. Dieses Modell bietet die beste Bildauflösung der Klasse, Dynamikbereich, verbesserte Signalfähigkeit und mehrere andere präzise Messtechnik-Tools, um die Anforderungen der komplexesten Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung Anforderungen zu erfüllen.