Gebraucht ESTEK / ADE AWIS #9037134 zu verkaufen

ESTEK/ADE AWIS ist eine umfassende automatisierte Wafer- und Maskeninspektionsanlage zur Maximierung der Produktionseffizienz und Genauigkeit von Wafer- und Maskenherstellern. Das System bietet eine effiziente, kostengünstige Lösung für das gesamte Spektrum der automatisierten Inspektion und Fehleranalyse. ADE AWIS ist eine Präzisionsinstrumenteneinheit mit leistungsstarken optischen und bildgebenden Funktionen und fortschrittlichen Prozesssteuerungen. Es verwendet eine 8 „Wafer-Bühne für Waferdurchmesser bis 8“ und eine Maskenbühne für Masken bis 254mm X 355mm. Die Optik umfasst digitale Mikroskop-Zoom-Funktionen und verschiedene Arten von Beleuchtung, einschließlich UV, Hintergrundbeleuchtung, optische Filter und spezialisierte Dunkelfeld- und Dunkelkanten-Technologie. Die Inspektionsmaschine verwendet fortschrittliche Bildgebungs- und Vergleichstechniken, um Fehler auf einem einzigen Bild oder mehreren Bildern blanker oder maskierter Siliziumscheiben zu identifizieren und zu klassifizieren. Die verwendete Software ermöglicht einen vollautomatischen Fehlerüberprüfungsprozess, einschließlich Echtzeitüberwachung, mit der Fähigkeit, bis zu 8 Bilder pro Defekt zu speichern. Das Tool verfügt über ein hohes Maß an Anpassung, so dass maßgeschneiderte Programme auf spezifische Kundenbedürfnisse zugeschnitten werden können. Das Asset kann Waferstruktur und Maskenfilm bis zu einer Größe von 0,3 - 0,4 Mikron analysieren. Typische Fehler, die untersucht werden können, sind Chippen, Kratzer, Fremdmaterial, Gummipartikel, Spiking-Defekte, Partikelcluster und Resist-Rückstände. Zum Modell gehört auch ein Boson integrierter Laser, um den Abstand von Resistmustern zu erfassen und zu messen. Das Gerät ist mit grundlegenden Bilddiagnosen wie Kontraststeuerung, Autofokus, Helligkeitssteuerung, Farbumkehr und einer Reihe von Farbkalibrierungsfunktionen ausgestattet. Es verfügt außerdem über einen automatischen Histogrammgenerator zur Klassifizierung der Fehler und eine umfassende Fehlerklassifizierungstabelle zur besseren Auswertung von Fehlerdaten. Insgesamt ist ESTEK AWIS ein ausgeklügeltes digitales Wafer- und Maskeninspektionssystem, das unvergleichliche Inspektionsmöglichkeiten, Genauigkeit und Geschwindigkeit bietet. Seine leistungsstarken Fähigkeiten und Benutzerfreundlichkeit macht es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Wafer- und Maskenhersteller, die Mängel reduzieren und den Ertrag maximieren müssen.