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ESTEK WIS-800 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine umfassende 3D-Fehlererkennung mit flüssig integrierten bildgebenden Funktionen und Genauigkeit ermöglicht. Es bietet die Verwendung eines großen, hochauflösenden Arrays von Detektoren, bildgebenden Architekturen und Mustererkennungsalgorithmen, um alle Anomalien in den Masken und Wafern schnell zu identifizieren. Kombiniert mit einer ergonomischen Hardware- und Software-Benutzeroberfläche ist das Masken- und Wafer-Inspektionssystem ein effizientes Werkzeug, um Prozessprobleme schnell und präzise in der Produktionslinie zu identifizieren. Von ESTEK entwickelte fortschrittliche Algorithmen schaffen eine automatisierte und intuitive Inspektionseinheit mit fortschrittlicher Fehlererkennung, Zykluszeitreduzierung und geringen Betriebskosten. WIS-800 verfügt über eine intelligente 3D-Bildverarbeitungsmaschine, die es einer einzigen Inspektionssitzung ermöglicht, Fehler in mehreren Schichten einer Maske oder eines Wafers zu erkennen. Seine patentierte „Core-Detection“ -Funktion ist in der Lage, verschiedene Defekte auch in der Mittelschicht der Probe zu identifizieren, die mit herkömmlichen Methoden schwer zu erkennen sind. Das bildgebende Werkzeug ermöglicht die Optimierung der Scanmodi auf der Flucht, wie verschiedene Zoomstufen und Fokus, um das optimale Ergebnis für jede einzelne Probe zu gewährleisten. Die integrierten Mustererkennungsalgorithmen von ESTEK WIS-800 wurden entwickelt, um die Fehlererkennung und -klassifizierung zu automatisieren und schnelle, genaue Ergebnisse zu liefern. Das Gerät verfügt auch über eine umfassende Bibliothek von Fehlertypen, so dass es eine Vielzahl von Fehlern schnell und präzise erkennen und klassifizieren kann. WIS-800 bietet auch eine benutzerfreundliche Windows-basierte Benutzeroberfläche mit intuitiver Navigation, Drag-and-Drop-Dateneingabe und grafischen Darstellungen der Prüfergebnisse. Es bietet auch die Möglichkeit, aus mehreren Berichten und Dokumenten auszuwählen, um die Prüfparameter zu definieren oder Prüfergebnisse zu überprüfen. Als letzter Vorteil ist ESTEK WIS-800 auch mit anderen ESTEK-Inspektionssystemen kompatibel, was eine einfache und kostengünstige Aktualisierung bei veränderten Prozessanforderungen ermöglicht. Insgesamt ist WIS-800 Asset eine leistungsstarke Lösung für die Masken- und Waferinspektion und bietet umfassende 3D-Bildgebungsfunktionen mit intuitiven Bedienelementen und fortschrittlichen Fehlererkennungsalgorithmen. Es ist eine optimale Wahl, um Ertrag und Qualität in jeder Fabrikationsanlage oder -linie zu verbessern.
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