Gebraucht HENNECKE HE-WI-05 #9168043 zu verkaufen
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ID: 9168043
Wafer measuring system
HE-WU-01 Flexpicker robot
(2) Wafer shorting systems.
HENNECKE HE-WI-05 Mask and Wafer Inspection Equipment ist ein automatisiertes System zur Inspektion von IC-Masken und Wafern, bevor sie für die Geräteherstellung verwendet werden. Das Gerät bietet hochauflösende Bildgebung, zuverlässige Fehlererkennung und wiederholbare Messungen über verschiedene Produktionslose hinweg. Es ist speziell auf die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie ausgelegt. HE-WI-05 verwendet eine laserbasierte optische Maschine, die zur Messung der Topologie von IC-Masken und Wafern eine bildgebende Technik verwendet, die als Scatterometrie bekannt ist. Das Tool umfasst eine digitale CMOS-Kamera und einen Laserbeleuchter zur Aufnahme hochauflösender Bilder der inspizierten Teile. Die Bilder werden dann mit fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen verarbeitet, um Oberflächenfehler wie Kratzer, Partikel, Makel usw. zu erkennen. Das Asset ist mit verschiedenen Auflösungen und Öffnungen konfigurierbar, so dass kleine und feine Strukturen überprüft werden können. Darüber hinaus verfügt HENNECKE HE-WI-05 über eine automatisierte Fokusregelung, die mit einem hochgeschwindigkeitsmotorisierten Zoomobjektiv den Fokus der Kamera einstellt. Dadurch wird sichergestellt, dass die vom Modell erfassten Bilder genau fokussiert sind. Die Ausrüstung schließt auch eine objektive Linsenoberfläche Schausystem ein, das verwendet wird, um eine spezielle Form von scatterometry zu ermöglichen. Diese Einheit bietet auch berührungslose Messung von freiliegenden Merkmalen sowie Formelementgrößen. HE-WI-05 können auch konfiguriert werden, um statistische Daten aus den Inspektionen zu sammeln. Dazu gehören Informationen wie Anzahl und Größe von Defekten sowie andere Oberflächenqualitäten. Damit können umfassende Qualitätssicherungsberichte zum Produktionsprozess erstellt werden. Insgesamt ist HENNECKE HE-WI-05 Mask and Wafer Inspection Machine ein fortschrittliches Werkzeug, das präzise, wiederholbare und zuverlässige Messungen von IC-Masken und Wafern anbietet. Es bietet hochwertige Bilder zur genauen Fehlererkennung sowie statistische Daten zur Qualitätssicherung. Damit ist es ein unverzichtbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie.
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