Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eP4 #9281324 zu verkaufen

HERMES MICROVISION / HMI eP4
ID: 9281324
E-Beam inspection system, 12" 2017 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eP4 ist ein vielseitiges Werkzeug zur Masken- und Waferinspektion. Es verwendet fortschrittliche Bildverarbeitungstechnologie auf Basis von 4K-Auflösung und bis zu 50facher Vergrößerung, um Anomalien im Design von Halbleitermasken und Wafern wie Partikelverschmutzung oder Linienbreite und Linienabstandsschwankungen schnell und genau zu erkennen. Ermöglicht wird diese hervorragende Bildqualität durch seine leistungsstarke Optik, die eine lange Brennweite 2x4K CCD-Kamera, eine dual variable photoelektrische (VPE) Beleuchtung und optionale Lichtfeldfilter beinhaltet. Diese Anordnung bietet durch die Eliminierung von Streu- und Reflektionslicht einen hervorragenden Kontrast und eine hervorragende Empfindlichkeit bei gleichmäßiger Ausleuchtung über das gesamte Sichtfeld. HMI eP4 verfügt zudem über eine intuitive Benutzeroberfläche mit einem interaktiven Touchscreen und einem visuellen Instruktionssystem zur einfachen Bedienung und schnellen Fehlererkennung. Das Gerät ist in einem modularen Design für verbesserte Funktionalität und Effizienz gebaut, mit der Fähigkeit, optionale laterale Scan- und Partikel/Defekt-Erkennungsfunktionen leicht hinzuzufügen. HERMES MICROVISION eP4 ist in der Lage, die gesamte Oberfläche eines Wafers oder einer Maske mit einer maximalen Geschwindigkeit von 40 Wafern/Std. abzutasten. Es unterstützt bis zu 16 verschiedene Scanintensitäten und kann in den unterschiedlichsten Anwendungen wie Partikel, Defekt und kristallographische Bildgebung eingesetzt werden. Zusätzlich ist die Maschine mit einer defekten Nanoanalyse-Bibliothek ausgestattet, um abnorme Elemente schnell zu identifizieren und eine gleichbleibende Produktionsqualität zu unterstützen. EP4 ist ein hochqualifiziertes Werkzeug zur präzisen und zuverlässigen Masken- und Waferinspektion. Es bietet überlegene Bildqualität, intuitive Benutzeroberfläche und innovatives modulares Design und ist damit die ideale Lösung für hoch technische und anspruchsvolle Inspektionsanforderungen.
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