Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 310 #9281449 zu verkaufen

ID: 9281449
Wafergröße: 8"-12"
E-Beam defect inspection system, 8"-12" FOUP, 12" SMIF, 8" Transfer unit Chamber room Powerbox Power processor Loader.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 310 ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um genaue, High-Speed, hochauflösende Wafer und Maske Bildgebung zu bieten. Es ist speziell für 3D-Messtechnik, Fehlererkennung und Überwachung der Herstellung von Photomasken, Retikeln, mikroelektronischen diskreten Komponenten und MEMS-Geräten konzipiert. HMI eScan 310 ist mit fortschrittlicher Mikroskopie-Technologie mit hochauflösenden bildgebenden Funktionen und ausgezeichneter Vielseitigkeit ausgestattet. Seine einzigartige Optik und intelligente Bildgebungssoftware wurden entwickelt, um 3D-Bilder hochauflösend und rauscharm zu machen. Es kann eine kritische Auflösung von bis zu 5 nm erreichen und bietet einen umfassenden Überblick über komplexe Geometrien und Muster mit hoher Dichte. Das System ist auch mit einer erweiterten Strahlsteuerung und einer ultra-realistischen Bildsequenz ausgestattet, die eine vollständige 3D-Abbildung der Oberfläche und ihrer Details ermöglicht. Die schnelle Datenerfassung und beschleunigte Bildverarbeitung ermöglichen eine einfache und genaue Bildanalyse. Darüber hinaus verfügt HERMES MICROVISION eScan 310 über eine Weitfeldeinheit, ein nativ integriertes CAD-Tool, einen intuitiven 3D-Viewer und vollständige Automatisierungsfunktionen zur Vereinfachung des Inspektionsprozesses. Seine Dual-Kamera-Inspektion kann mit einer Einzel-Kamera-Maschine für die Vollfeldinspektion kombiniert werden, die eine vollständige Erfassung auch der kleinsten Funktionen ermöglicht. Das Tool bietet auch fortschrittliche Algorithmen, um Fehler in verschiedenen Materialien zu lokalisieren, Verschleißwerte, Luminanzgleichförmigkeit, Variationen der Subpixelauflösung und andere Substratparameter zu erkennen. Es unterstützt auch verschiedene Maskenformate, darunter sinc-radiale, koplanare und sechseckige Designs. Darüber hinaus bietet eScan 310 eine interaktive Benutzeroberfläche zum Anzeigen, Vergleichen, Analysieren und Melden von Ergebnissen. Es bietet auch mehrere Datensätze, die im Laufe der Zeit verglichen werden können, um die Genauigkeit der Fehlererkennung zu gewährleisten. Insgesamt ist HERMES MICROVISION/HMI eScan 310 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektion, die Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungsbilder bereitstellen kann. Es ist in der Lage, Fehler in verschiedenen Materialien zu erkennen und verfügt über leistungsstarke Funktionen wie nativ integrierte CAD-Tools, automatisierte Datenerfassung, fortschrittliche Algorithmen und intuitive 3D-Viewer. Darüber hinaus bietet das Modell eine umfassende Reihe von Funktionen, um den Inspektionsprozess für Benutzer einfacher und schneller zu machen.
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