Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #293641226 zu verkaufen

ID: 293641226
Wafergröße: 12"
E-Beam inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320 ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine genaue und schnelle Inspektion von Fotomasken- und Wafer-Randbildern bietet. Es bietet außergewöhnliche Genauigkeit und zuverlässige Inspektionsergebnisse mit minimalen Ausfallzeiten und minimaler Wartung. HMI eScan 320 ist mit einem 18MP Charge Coupled Device (CCD) Sensor ausgestattet, der Maskenoberflächen bis maximal 8 µm scannen kann. Es umfasst leistungsfähige Verarbeitungssoftware und ein automatisiertes Kameraausrichtungssystem, das eine präzise Positionierung der Kamera und eine genaue Ausrichtung des bildgebenden Sensors gewährleistet. HERMES MICROVISION eScan 320 verfügt über eine breite Palette von Beleuchtungsarten, die sowohl für die Inspektion von Standard- als auch kundenspezifischen Masken verwendet werden können. Dies umfasst die Beleuchtung in der Draufsicht, Seitenansicht und Unteransicht. Es bietet auch mehrere Bilderfassungsmodi wie den EWA-Modus (Enhanced Wafer Alignment) und den Vollmasken-Ausrichtungsmodus. Darüber hinaus verfügt es über erweiterte Optik, die für die Inspektion von Wafern mit hoher Auflösung und niedriger Auflösung verwendet werden. EScan 320 verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die genaue, wiederholbare Maskeninspektionsergebnisse ermöglichen. Diese schließen eine hoch empfindliche Kamera, ein patentiertes Mehrmuster Wavefront Bildaufbereitung der Technologie, einer Autofokuseinheit und einer fortgeschrittenen in einer Prozession gehenden Software ein. Diese Funktionen ermöglichen es HERMES MICROVISION/HMI eScan 320, kleine Fehler bis zu 2 Mikrometer zu erkennen und gleichzeitig maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten. Darüber hinaus verfügt HMI eScan 320 über eine einzigartige automatisierte Fehlererkennungsmaschine, die in der Lage ist, vollständige Fehlerbilder wichtiger Defekte wie Partikel und Kratzer auf dem Wafer oder der Maske zu erzeugen. Diese Bilder werden dann verwendet, um die Fehler zu vergleichen und zu analysieren, um die Ursache der Fehler und die entsprechenden Korrekturmaßnahmen zu ermitteln. Schließlich ist HERMES MICROVISION eScan 320 ein benutzerfreundliches Inspektionswerkzeug, das einfach zu bedienen und zu warten ist. Es beinhaltet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) und benutzerfreundliche Software, die leicht zu erlernen und zu bedienen ist, wodurch das Asset einfach für verschiedene Anwendungen und Aufgaben angepasst werden kann. Darüber hinaus kann eScan 320 für neue Technologien aufgerüstet werden, sodass es mit branchenüblichen Masken- und Waferinspektionsprozessen auf dem neuesten Stand bleibt.
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