Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9171729 zu verkaufen

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ID: 9171729
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
E-Beam defect inspection and review system, 12" Integrated front-end Dual pod FOUP, 12" (2) High quality flat panel displays GUI / Image computer XEON dual CPU 3.2GHZ, 2GB memory Host computer Pentium IV 3.2 GHZ, 2GB memory DBDB (Detection baseon design base) function E-Chuck wafer holder Active damping TFE Electron beam emission source sub-system Electron optics column sub-system HV Power sub system Programmable wafer biasing & charge balance control SE and BSE high speed detection 2012 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320 ist eine vollständig integrierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur effizienten Erkennung von Defekten und anderen Unregelmäßigkeiten sowohl auf Wafern als auch auf Masken. Das System ist in der Lage, zwei- und fünfdimensionale Bildgebung durchzuführen, die mit seinen verbesserten Eigenschaften bis zu 17 Mikrometer pro Pixel und bis zu 32 nm Auflösung misst. Mit fortschrittlicher Bildgebungstechnik ist HMI eScan 320 in der Lage, sowohl kleinere Defekte als auch große Abweichungen in einer Vielzahl von Masken und Wafern unabhängig von Material oder besten Abmessungen automatisch zu scannen und zu erkennen. Das Gerät verwendet dynamische Bildgebungstechniken, um Bilder schnell zu erfassen und genau zu vergleichen, um Unregelmäßigkeiten zu erkennen, die die Chipkontinuität oder -qualität beeinflussen können. Darüber hinaus ist HERMES MICROVISION eScan 320 aufgrund seiner erhöhten Geschwindigkeit und Abdeckung in der Lage, eine erweiterte Fehleranalyse auf großen Flächen durchzuführen. Diese fortgeschrittene Analyse umfasst isotrope Analysen für verschiedene Arten von Defekten, wie große Linienfehler, Trefoil-Defekte, polygonale Defekte und Pitch-Defekte. Es enthält auch lokalisierte Fehlerbilder für kleine Durchmesserlöcher, Torabstandsvarianz und kurze Hosen. EScan 320 arbeitet im Low-Power-Modus und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeitskontrolle großer Bereiche bei gleichzeitiger Reduzierung des Stromverbrauchs. Diese tragbare Tischmaschine ist für den einfachen Transport und Betrieb ausgelegt. Das Tool wird auch mit einem integrierten Asset-Supervisor zur Überwachung der Modellleistung und Wartungsaktivitäten geliefert. HERMES MICROVISION/HMI eScan 320 ist eine leistungsstarke, kostengünstige Masken- und Waferinspektionsanlage, die eine Vielzahl von Defekten in einer Vielzahl von Materialien erkennen und analysieren kann. Dank fortschrittlicher Bildgebungstechniken, hoher Genauigkeit und geringem Stromverbrauch ist HMI eScan 320 das perfekte Werkzeug für Hersteller, die ihre Masken- und Waferinspektionsprozesse optimieren möchten.
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