Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9378991 zu verkaufen

ID: 9378991
E-Beam inspection system, 12" 2011 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320 ist eine Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um Halbleiterscheiben und Masken auf eine Vielzahl von Attributen zu überprüfen. Das System verwendet eine Kombination aus zwei verschiedenen Arten von Mikroskopen, einer Weißlichtquelle und einer Bildkamera. HMI eScan 320 verwendet ein Standard-Lichtfeld-optisches Mikroskop mit einer Vielzahl von verfügbaren Objektiven, einschließlich Luft und Öl eingetaucht, so dass der Benutzer Bereiche bis auf Mikroniveau zu inspizieren. Für große Forschungs- und Produktionsanwendungen ermöglicht eine fünfachsige motorisierte Stufe die Bewegung des Ziels in den x-, y- und z-Achsen mit Submikron-Präzision. Eine Vielzahl von Vergrößerungseinstellungen von 10x bis 200x ermöglichen maximale Flexibilität bei der Inspektion. Die digitalen Bildgebungsfunktionen von HERMES MICROVISION eScan 320 werden von einer fortschrittlichen Zeiss AxioCam ICMS-Digitalkamera bereitgestellt, die Bilder mit Vergrößerungen bis zu 1600x aufnehmen kann. Die Kamera ist mit einem schnellen 14-Bit-Ladegerät (CCD) mit einer Vollbildrate von bis zu 36 Bildern/Sekunde ausgestattet, was eine hervorragende Bildklarheit und Detailgenauigkeit bietet. Es werden sowohl Farb- als auch monochrome Verifizierungsmodi unterstützt. Zusätzlich kann ein externer Farbmonitor mit der Kamera verbunden werden, um Bilder in Farbe anzuzeigen. Das Gerät verfügt außerdem über eine hochintensive LED-Weißlichtquelle, die eine konsistente Beleuchtung über das gesamte Sichtfeld ermöglicht. Die LED-Lichtquelle ist in ihrer Intensität variabel und bietet einen weiten Betrachtungswinkel mit geringer thermischer Variabilität, der optimale Bilder ermöglicht. EScan 320 ist eine integrierte Inspektionsmaschine mit überlegener Bildqualität und Präzisionsleistung. Die Fähigkeit des Tools, hoch detaillierte Masken und Wafer zu vergrößern, aufzunehmen und abzubilden, bietet eine ideale Lösung für Produktions- und Forschungsanwendungen, die überlegene Inspektionsmöglichkeiten erfordern.
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