Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 400 #9263048 zu verkaufen

HERMES MICROVISION / HMI eScan 400
ID: 9263048
Wafergröße: 12"
E-Beam defect inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 400 ist ein hochmodernes Scanmasken- und Wafer-Inspektionssystem zur automatisierten Inspektion von Halbleiterscheiben und Photomasken. Das HMI eScan 400 System besteht aus mehreren Hauptkomponenten: dem mikroskopischen bildgebenden Subsystem, der automatisierten Probenstufe, der Musteranpassungssoftware, dem Waferlader-Subsystem und mehreren Datenspeicher-Subsystemen. Das mikroskopische bildgebende Teilsystem besteht aus einer hochauflösenden ladungsgekoppelten Gerätekamera (CCD) und Objektiven. Dieses Subsystem erfasst präzise, hochauflösende Bilder der Wafer und Masken mit außergewöhnlicher Klarheit und Definition. Die automatisierte Probenstufe ist eine computergesteuerte XYZ-Stufe, die zur genauen Ausrichtung des Wafers oder der Maske dient und diese dann präzise durch den bildgebenden Bereich bewegt. Dies gewährleistet eine genaue und wiederholbare Abbildung der Komponenten. Die Musteranpassungssoftware wird verwendet, um die erfassten Bilder automatisch mit einem digitalen Modell oder Referenzdesign zu vergleichen. Anschließend werden etwaige Unterschiede zwischen den tatsächlichen Komponenten und der Modellkonstruktion ermittelt. Das Wafer-Loader-Subsystem ermöglicht die Abbildung mehrerer Wafer in schneller Folge und verkürzt so den Zeitaufwand zum Scannen vieler Komponenten. Datenspeicher-Subsysteme ermöglichen die Erfassung, Speicherung und den Abruf von Bilddaten. Diese Daten können dann zur Dokumentation von Komponentenänderungen oder Problemen verwendet werden, wodurch Korrekturmaßnahmen schnell und effizient durchgeführt werden können. Abschließend ist HERMES MICROVISION eScan 400 ein fortschrittliches Scanmasken- und Wafer-Inspektionssystem, das eine zuverlässige und genaue Abbildung von Wafern und Photomasken ermöglicht. Die automatisierte XYZ-Stufe, die Musteranpassungssoftware, der Waferlader und das Datenspeichersubsystem bieten die Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die Halbleiterhersteller für Qualitätskontrollzwecke benötigen.
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