Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 405 #9244052 zu verkaufen

HERMES MICROVISION/HMI eScan 405 ist eine vollautomatische Masken- und Waferinspektionsanlage zur Inspektion von Halbleitermasken, die in Lithographieverfahren eingesetzt werden. Das System erleichtert die Inspektion aus vier Winkeln, einschließlich der Überprüfung der Durchlässigkeit, Absorptivität und Reflexion sowie der automatisierten Fehlerlokalisierung. Dieses Gerät kann 16M Maskenbilder innerhalb von Minuten überprüfen und den gesamten Prozess mit hoher Präzision und erstaunlicher Geschwindigkeit beschleunigen. HMI eScan 405 besteht aus einer Hochleistungs-Optikmaschine, einschließlich 10X und 20X Objektiven, einem 8-Zoll-Monitor und einem Vakuum-Maskenfutter, so dass es UV-Lichtbilder von Maskenfunktionen mit einer ausgezeichneten Genauigkeit erfassen kann. Durch die Verwendung eines integrierten Kalibriermechanismus und eines fortschrittlichen Auto-Fokus-Algorithmus erfasst das Tool hochauflösende Bilder mit einer effektiven Pixelgröße von 340 x 510 nm genau. Der Inspektionsprozess der Maske/Wafer in HERMES MICROVISION eScan 405 beginnt mit der Maskenausrichtung. Das Bild der Maske wird dann mit einem Paar LED-Beleuchtungseinheiten aufgenommen. Dabei stehen die Kanten der Maske im Fokus, das Originalbild wird digitalisiert und mittels fortgeschrittener Bildalgorithmen analysiert. Alle Arten von Fehler- und Masken-Seitenverhältnis-Anomalien werden schnell im Bild erkannt, um den Inspektionsprozess schnell mit genauen Ergebnissen abzuschließen. Für Wafer-Inspektionen ist die Anlage mit einer Drehstufe ausgestattet, um mehrere Standorte nacheinander mit hoher Präzision zu scannen. Im Anschluss an den Erfassungsprozess helfen die integrierten Softwarepakete, Fehler zu erkennen und abzubilden. Dieser Ansatz unterscheidet sich vom typischen manuellen Prozess, da dieses Modell Masken-/Waferbilder in einem Bruchteil der Zeit, die manuelle Bediener benötigen, effektiv analysieren kann. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein aggregiertes Waferbild in Form eines Barcodes, mit dem der Prozess für verwandte Produkte verfolgt und der Validierungsverlauf von Wafern nachverfolgt werden kann. EScan 405 System verfügt auch über ein Programm mit hohem Durchsatz. Das Gerät ermöglicht es dem Benutzer, die Wafer/Maskenbereiche vorzuwählen, die schneller überprüft werden können, was Zeit spart, die sonst durch herkömmliche Inspektionsmethoden wie Sub-Field Verification (SFV) eingenommen würde. Die Maschine bietet auch eine automatisierte hochauflösende optische Mikroskopbeobachtung für Halbleiterbauelemente. HERMES MICROVISION/HMI eScan 405 ist ein wertvolles Werkzeug, um verschiedene Fehler in Masken- und Waferbildern zu untersuchen und zu erkennen. Hohe Geschwindigkeit, Genauigkeit und Qualität sind garantiert - damit ist HMI eScan 405 die ideale Wahl für Halbleiteranwendungen.