Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9281328 zu verkaufen
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ID: 9281328
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
E-Beam inspection system, 12"
2014 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Beurteilung der Qualität von Halbleiterscheiben und Retikeln. Es bietet eine umfassende, hochauflösende Ansicht des Wafers zur Erkennung, Messung und Klassifizierung von Defekten in der Waferstruktur. Dieses fortschrittliche System verwendet ein Rasterelektronenmikroskop mit einer hochauflösenden Digitalkamera, um die Oberflächen von Halbleiterscheiben und Masken zu inspizieren. Das Gerät HMI eScan 500 ist mit einer ergonomischen Plattform ausgestattet, die einen einfachen Zugriff auf das integrierte Mikroskop, die Digitalkamera und andere Komponenten ermöglicht. Die digitale, motorisierte X-Y-Stufe, die Teil der Maschine ist, ermöglicht eine präzise Probenausrichtung und Navigation. Die für diese Maschine verwendete Scan-Steuerungssoftware ist benutzerfreundlich und kann konfiguriert werden, um die Größe und den Typ des zu überprüfenden Wafers, der Maske und des Retikels zu bestimmen. HERMES MICROVISION eScan 500 verfügt zudem über ein automatisiertes Tool zur Fehlererkennung und -klassifizierung, mit dem alle Arten von zufällig verteilten Fehlern erkannt und klassifiziert werden können. Diese Anlage ist mit einer ultravioletten Raman Mikrospektroskopie und Bildanalyse konzipiert, die verwendet wird, um den Ort der Defekte zu ermitteln und sie nach Größe, Form und Art zu klassifizieren. Dieses Modell erfasst auch automatisch Daten aus allen Merkmalen des geprüften Objekts, wodurch manuelle Eingaben vom Benutzer entfallen. Neben der Fehleranalyse ist eScan 500 auch in der Lage, die verschiedenen Merkmale von Wafer, Maske und Retikel zu messen. Dazu gehören Messungen wie Linienbreite, Kantenprofil, Overlay und Widerstand. Darüber hinaus ist das System auch in der Lage, die unterschiedlichen Dehnungsniveaus des Wafers oder Retikels zu beurteilen. Alle diese Daten werden zur späteren Überprüfung und Analyse in einer Datenbank gespeichert, was die Effizienz der Maschine erhöht. Insgesamt ist HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 eine leistungsstarke Einheit zur Inspektion von Halbleiterscheiben und Retikeln. Es bietet einen umfassenden Überblick über die Probe, so dass Benutzer die verschiedenen Komponenten, aus denen der Wafer besteht, untersuchen und analysieren können. Die automatisierte Fehlererkennungs- und Klassifizierungsmaschine erhöht die Effizienz der Maschine, während die Messfähigkeiten eine genaue Analyse der Probe liefern. Alles in allem ist dieses Werkzeug wichtig, um sicherzustellen, dass die Qualität auf dem neuesten Stand ist.
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