Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9285022 zu verkaufen

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HERMES MICROVISION / HMI eScan 500
Verkauft
ID: 9285022
E-Beam inspection system.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine zuverlässige und genaue Möglichkeit bietet, Fehler in Halbleiter- und Display-Lithographien zu identifizieren. HMI eScan 500 verwendet vier verschiedene Inspektionselemente - Verbesserte Reparatur und Fertigung, Roboter-Wafer-Inspektion, Multi-Beam Analysis und Inspect System Software -, um Genauigkeit und Qualitätssicherung für kritische Prozesse wie Stempelprüfung, Retikelinspektion und Flachbildschirmprüfung zu bieten. Die verbesserte Reparatur- und Fertigungstechnologie (ERFT) ermöglicht es HERMES MICROVISION eScan 500, kritische Herstellungsprobleme wie Musterfehler, Bildtrübung und Kantenwelligkeit zu identifizieren. Robotic Wafer Inspection (RWI) scannt mit einem Roboterarm komplexe Oberflächen, wie flache LCD-Wafer. Funktionen wie die Ausrichtung auf eine Referenzform sowie die Stempelprüfung helfen bei der Optimierung des Waferdurchsatzes und der Prozesskontrolle. Darüber hinaus verfügt es über eine Vision-basierte Einheit, die mehrere Strahlen verwendet, die für kritische Werkzeugdefekte verwendet werden können, die von der ERFT-Maschine zunächst nicht erkannt wurden. Mit dem Multi-Beam Analysis Technology (MBAT) Objektiv kann eScan 500 schnell und präzise die Ursache von Problemen herausfinden. Elektronenstrahl (E-Strahl) oder Laserscanning wird verwendet, um den genauen Ort der vermuteten Defekte zu identifizieren. HERMES vergleicht mit Mikroskopie und Software maschinenlesbare Scans mit einem Referenzstandard, um festzustellen, ob der Fehler repariert werden muss. Darüber hinaus kann MBAT auf HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 Bilder dieser Fehler erzeugen und sie erfassen, um dem Planer oder Ingenieur physikalische Beweise zu liefern. Schließlich ermöglicht die Inspect Tool Software (ISS) mittels „Process Maps“ oder „Pixel“ präzise Anpassungen der Bildgebungsparameter und der Laserfleckgröße und -position. Dadurch wird sichergestellt, dass Bilder für jeden Teil des Prozesses, wie Ausrichtung, Kantenbehandlung, Bildgebung usw., immer innerhalb der Spezifikation sind. HMI eScan 500 ist ein fortschrittliches und anspruchsvolles Instrument für die Masken- und Waferinspektion, das Produktgeheimnis und Qualitätssicherung gewährleistet. Seine erstklassigen Technologien ermöglichen es Ingenieuren und Mitarbeitern der Qualitätskontrolle, Fehler, die zuvor möglicherweise unentdeckt geblieben sind, schnell zu identifizieren. Darüber hinaus ist HERMES MICROVISION eScan 500 ein kostengünstiges und einfach zu bedienendes Asset, das Unternehmen in der Halbleiter- und Display-Lithographie-Branche Zeit und Geld spart.
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