Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9316140 zu verkaufen
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ID: 9316140
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
E-Beam inspection system, 12"
2014 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 ist eine hochauflösende Masken- und Waferinspektionsanlage, die Laserscanning zur Erkennung und Messung von Defekten an Halbleitermaterialien verwendet. HMI eScan 500 verfügt über einen breiten Belichtungsbereich, ein großes Sichtfeld und eine hohe Empfindlichkeit, die alle optimiert sind, um die kleinsten Fehler auf der Oberfläche eines Halbleiterbauelements zu erkennen. HERMES MICROVISION eScan 500 ist ein fortschrittliches System, das aus einem ausgeklügelten optischen Mikrobildaufbau, einer schnellen Abtaststufe und einem optisch stabilen Festkörperbilddetektor besteht. Der optische Aufbau besteht aus einer hochauflösenden telezentrischen Optik mit einstellbarer numerischer Blende und fieldStop-Blende. Durch diese Anordnung wird sichergestellt, daß das Bild unabhängig von der Probenposition stets scharf auf den Detektor fokussiert wird. Die schnelle Scanstufe ermöglicht ein breites Sichtfeld, das die gesamte Probe mit minimaler Repositionierungs- und Substratausrichtungszeit abdeckt. Der Detektor ist ein 32 Megapixel hinterleuchteter CMOS-Sensor, der große Feldbilder mit hoher Empfindlichkeit durch eine Vielzahl von optischen Filtern aufnimmt. Besonders beeindruckend ist die Akquisitionsgeschwindigkeit des eScan 500; die Einheit kann bis zu 1 Million Pixel pro Sekunde scannen. Dadurch kann jeder einzelne Bereich einer Probe zuverlässig und zeitnah überprüft werden. HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 bietet auch programmierbare Parametereinstellungen wie Helligkeit, Kontrast, Zoom, Fokus und Scanauflösung. Dadurch wird sichergestellt, dass jedes Mal die unberührtesten Bilder für eine genaue Fehlergrößenanalyse erstellt werden können. Neben seiner hohen Leistung ist HMI eScan 500 auch kostengünstig. Die geringen Kosten der Maschine sorgen dafür, dass sie eine attraktive Option für kleinere Chiphersteller ist, denen das Budget fehlt, um sich große, teure Systeme zu leisten. Darüber hinaus bietet das Tool eine hervorragende Benutzerfreundlichkeit und erfordert wenig bis keine Wartung. Insgesamt ist HERMES MICROVISION eScan 500 eine hervorragende Masken- und Wafer-Inspektion mit einem kostengünstigen Preisschild. Mit seinem großen Sichtfeld, der schnellen Scangeschwindigkeit und der robusten Fehlererkennung kann eScan 500 mit minimalem Aufwand und Kosten die kleinsten Fehler an Halbleitermaterialien zuverlässig erkennen.
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