Gebraucht HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9390712 zu verkaufen

HERMES MICROVISION / HMI eScan 500
ID: 9390712
E-Beam inspection systems.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 500 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die kritische Funktionen zur Optimierung der Prozesssteuerung bietet. Das System wird um ein optisch gesteuertes Mikroskop gebaut, das mit Industriestandard HIS (High Image Sensor) -Technologie ausgestattet ist, um die höchste Bildtreue auf dem Markt zu gewährleisten. Es unterstützt eine Reihe von optischen Vergrößerungen, die von 5X bis 100X reichen, um das breiteste Sichtfeld für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten. HMI eScan 500 ist eine erstklassige 3D-Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die Muster und Defekte automatisch auf Nanoebene erkennt. Es bietet leistungsstarke Fehlererkennungsfunktionen mit einer fortschrittlichen optischen Bildgebungsmaschine und LED-Beleuchtung für überlegenen Bildkontrast. Das Werkzeug kann vollständig automatisiert werden, um eine Vielzahl von Defekten zu erkennen, einschließlich topographischer, dunkler Markierungen, Partikelfehler, Hellfeld usw. Es verfügt auch über eine verbesserte Kantenerkennungsgenauigkeit für die Lokalisierung von Mustern in schwierigeren Materialschichten. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem patentierten automatischen Kalibrierungsalgorithmus und integrierten Korrekturalgorithmen ausgestattet, um die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit über lange Zeiträume zu gewährleisten. Die fortschrittliche Software des Modells ermöglicht es der Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, eine effiziente Mustererkennung sowohl bei hellen als auch bei dunklen Mustern durchzuführen. Es kann eine breite Palette von Defekten wie Gruben, Kratzer, Schmierereien, kontaminieren und falsch klassifizierten Musterbildern erkennen. Die Software bietet auch leistungsstarke Intelligenz für die Berichterstattung von Ergebnissen und die Analyse von Inspektionsdaten. Es kann große Mengen an Bilddaten schnell und genau verarbeiten und gleichzeitig den Bedarf an manuellen Inspektionen reduzieren. HERMES MICROVISION eScan 500 bietet auch eine Reihe automatisierter Inspektionsmöglichkeiten, wie die In-situ-Analyse von Defekten zur Messung ihrer Größen und Formen oder die genaue Positionierung der Defekte. Das System kann auch Abweichungen zwischen Bildern im gleichen Feld oder zwischen Bildern aus verschiedenen Feldern erkennen. Darüber hinaus bietet das Gerät eine umfassende Bibliothek mit vordefinierten Fehler- und Mustererkennungsalgorithmen zur einfachen Anpassung. Insgesamt ist eScan 500 eine ausgezeichnete Wahl für anspruchsvolle Masken- und Wafer-Inspektionsprozesse. Es kombiniert leistungsstarke Optik, fortschrittliche Software, LED-Beleuchtung und umfassende Automatisierung, um maximale Leistung in einem kostengünstigen Paket zu liefern. Deshalb ist die Maschine für eine Vielzahl von Masken- & Wafer-Inspektionsanwendungen gut geeignet.
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