Gebraucht HITACHI IS 2700SE #9044470 zu verkaufen
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ID: 9044470
Defect inspection system
Power : 200VAC, 60A, 3phase, 50/60Hz
Operation unit:
Upper & Lower Monitor
Keyboard & Joystick
System Computer
CP750A Video Printer
Main AC Power Box
Coherent Laser Box
Missing:
Dalsa Header and controller
Stage X-Y controller
Stage Z controller
Robot Assembly in loader unit
TDK TAS300 Load port, L/R
2001 vintage.
HITACHI IS 2700SE ist eine professionelle Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann. Das System besteht aus einem Bedienpult, einer Abbildungsstation und einer Waferstation. Die Konsole enthält die zentrale Verarbeitungseinheit, den Befehlsprozessor und Hilfsmittel. Die Abbildungsstation enthält eine progressive Scan-CCD-Kamera, eine Ablenk- und Astigmatismus-Korrekturoptik und eine Maskenstation, die mit einer vollautomatischen Waferstufe ausgestattet ist. Die Waferstation enthält ein Waferhaltefutter und einen 8-Zoll-Bildsensor mit offenem Rahmen. Der Inspektionsprozess ist darauf ausgelegt, Fehler an Waferkante, Membran und Spänepackung von Probenmasken zu erkennen. Funktionen wie Farbprüfung, Bildverbesserung, Messung und integrierte Fehleranalyse sind enthalten, was eine schnellere und genauere Inspektion von Masken ermöglicht. Die CCD-Kamera verfügt über eine 4K-Pixelauflösung, die hochauflösende Bilder von Beispielmasken bereitstellt. Der Dynamikbereich der Kamera ermöglicht die Anzeige einer Vielzahl von Masken mit verschiedenen Helligkeits-, Kontrast-, Farb-, Muster- und Auflösungsstufen. Die Inspektionsmaschine enthält auch eine Reihe von Filtervorgaben, die es dem Benutzer ermöglichen, Inspektionseinstellungen abhängig von den zu inspizierenden Mustermasken auszuwählen. Zusätzlich enthält das Tool eine Reihe von Algorithmen, um die Feinfehlererkennung und automatisierte Fehleranalyse zu erleichtern. IS 2700SE asset ist ein hocheffizientes Modell für die Masken- und Waferinspektion. Es verfügt über eine Software-Schnittstelle, die eine einfache Steuerung der verschiedenen Gerätefunktionen ermöglicht. Das System ist in der Lage, verschiedene Programme auszuführen und beschleunigt den Prozess der Maskeninspektion erheblich. Darüber hinaus stellen Komponenten wie die CCD-Kamera, die Optik, Filtervorgaben und automatisierte Fehleranalyse-Algorithmen sicher, dass der Benutzer genaue und zuverlässige Prüfergebnisse erzielen kann.
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