Gebraucht HITACHI LS 5000 #293811582 zu verkaufen
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HITACHI LS 5000 Mask & Wafer Inspection Equipment ist eine dedizierte, hochpräzise Inspektionslösung, die optische Bildgebung und proprietäre Maskenausrichtungsalgorithmen verwendet. Es ist für die Inline- und Offline-Maskeninspektion für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen konzipiert und kann auch für die 3D-Masken- und Waferinspektion verwendet werden. HITACHI LS-5000 verfügt über eine vielseitige Fünf-Achsen-Stufe, die durch die Kombination unabhängiger Achsen ein schnelles zusammengesetztes Wafer-Scanning und eine überlegene Registriergenauigkeit ermöglicht. Zwei Kameraköpfe sind synchronisiert, um einen Neigungswinkel von bis zu 45 Grad bereitzustellen, wodurch sie eine dreidimensionale Inspektion ermöglichen. Die Linsen der beiden Köpfe können je nach Maskengröße automatisch gewechselt werden. Das System umfasst die Wafer Defect Review Software, die Fehleranalysen akkumuliert, verwaltet und durchführt. Die Software arbeitet gemeinsam mit dem Maskeninspektionsprozess, deckt die Mängel auf und sammelt Daten. Dieses Gerät kann zur automatisierten Fehlerüberprüfung und Fehlerklassifizierung verwendet werden. Der Predictive Defect Finder (PDF) ist mit einem komplexen Algorithmus ausgestattet, der Muster aus der Bilddatenanalyse erkennt und mögliche Fehler vorhersagt. Die Maschine hilft auch, die manuelle Neuinspektion mit Hilfe einer Echtzeit-KI-basierten Maskenfehlerprüfung zu beschleunigen. Darüber hinaus unterstützt es den vollautomatischen Betrieb über eine automatische Scanfunktion, die einen effizienten, konsistenten Maskeninspektionsvorgang ermöglicht. Es bietet auch andere Funktionen wie luftdichte Inspektionswerkzeug, und eingebaute Auto-Kalibrierung Funktionen. Das Asset kann auch mit sekundären Systemen wie CCD-Messtechnik implementiert werden. Und es ist benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung, was zu einer verbesserten Produktivität. LS 5000 Mask & Wafer Inspektionsmodell ist eine sehr zuverlässige und kostengünstige Inspektionsmaschine, die die strengsten Anforderungen erfüllen kann. Seine hochpräzisen Inspektionsmöglichkeiten sowie sein vollautomatischer Betrieb machen es zu einer idealen Lösung für die Serienproduktion.
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