Gebraucht HITACHI LS 6500 #293643631 zu verkaufen

HITACHI LS 6500
ID: 293643631
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Wafer surface inspection system, 8" 1997 vintage.
HITACHI LS 6500 ist eine große automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage, die Produktfehler über mehrere Substrate hinweg schnell und genau erkennen kann. Das System nutzt fortschrittliche Algorithmen, um Fehler zu erkennen und zu klassifizieren, und ermöglicht es Benutzern, ihre Scanpläne anzupassen, um bestimmte Inspektionsbereiche besser zu analysieren. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine hohe Inspektionsgenauigkeit und Erkennungsrate bietet und gleichzeitig extrem flexibel und anpassbar ist, um den Anforderungen des Benutzers gerecht zu werden. Die Maschine besteht aus einem optischen Sensorwerkzeug, einem aktiven Substratmechanismus und verschiedenen Wafer- und Maskenprüfstufen. Die optische Sensorik kann verschiedene Fehlertypen über Substrate hinweg erkennen und verfügt über fortschrittliche Bildgebungstechniken, um die Genauigkeit und Geschwindigkeit zu verbessern. Der aktive Substratmechanismus trägt Substrate von der Kassette zur Kassette und überträgt sie zwischen Wafer- und Maskeninspektionsstufen. Die Waferinspektionsstufen weisen zwei unterschiedliche breitbandige optische Systeme auf. Das erste Modell ist für die Prüfung der gesamten Topographie und Oberflächenstruktur verantwortlich. Die zweite Ausrüstung dient der Stempelanalyse und beinhaltet eine fortschrittliche Fehlersignaldiskriminierung und -analyse. Schließlich können die Maskenprüfstufen verschiedene Formen von Maskenfehlern erkennen, darunter teilweise gefüllte Mustermerkmale, fehlende Merkmale, Hohlräume, Fehlstellungen und Bereiche mit Gerätefehlern. Die Benutzeroberfläche von HITACHI LS-6500 beinhaltet eine breite Palette von Optionen und ermöglicht die Anpassung verschiedener Funktionen an die spezifischen Kundenbedürfnisse. Es hilft Benutzern, Scanpläne zu entwerfen und auftretende Fehler schnell zu erkennen. Das System bietet zudem einen hohen Automatisierungsgrad, da es Scanpläne schnell konfigurieren und die Geräteeinstellungen nach Kundenspezifikation anpassen kann. Abschließend ist LS 6500 eine hochentwickelte, automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die Anwendern eine zuverlässige, hochgenaue Methode zur Inspektion von Wafern und Masken bietet. Die Maschine wurde entwickelt, um eine schnelle und präzise Erkennungsrate zu bieten und es Benutzern zu ermöglichen, das Werkzeug an ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen. Das Asset ist einfach zu bedienen und hilft dabei, Teile des Prozesses zu automatisieren, um Benutzer Zeit zu sparen und die Genauigkeit zu verbessern.
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