Gebraucht HITACHI LS 6800 #9149619 zu verkaufen
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ID: 9149619
Wafergröße: 8"-12"
Non-pattern wafer particle inspection system, 8"-12"
40 nm.
HITACHI LS 6800 ist eine branchenführende Masken- und Waferinspektionsanlage, die von HITACHI High Technologies entwickelt wurde. Das System ist ein Hochleistungs- und Hochpräzisionsprodukt, das Kunden zuverlässige und genaue Lösungen zur Erkennung von Defekten an Halbleiterscheiben und -masken bietet. Das Gerät bietet eine breite Palette von Funktionen, die eine schnelle, wiederholbare und hohe Genauigkeitsprüfung ermöglichen, die für viele verschiedene Arten von Produkten und Prozessen anwendbar ist. HITACHI LS6800 verwendet eine Vielzahl von optischen Bildgebungstechniken, einschließlich einer einzigartigen optischen Bildwellenflächenanalysefunktion, die selbst kleinste Fehler auf der Produktoberfläche erkennen kann. Eine Vielzahl von verschiedenen Lichtquellen werden verwendet, um die verschiedenen Arten von Defekten zu identifizieren, einschließlich sichtbares Licht, UV-Licht und Laser. Die Maschine kann auch mit einer Vielzahl von Software konfiguriert werden, die es dem Benutzer ermöglicht, die Inspektionsgeschwindigkeiten, Fähigkeiten und Präzisionsniveau entsprechend ihren spezifischen Anforderungen anzupassen. Das Tool enthält auch eine Vielzahl von Bildsensoren und optischen Komponenten, die es dem Benutzer ermöglichen, hochgenaue Messungen von Wafer- und Maskenpositionen und Fehlergrößen zu erhalten. Durch die Verwendung dieser Komponenten können Benutzer die kleinsten Fehler am Produkt genau identifizieren. Darüber hinaus kann eine optische Musteranpassungsfunktion verwendet werden, um Fehler zu identifizieren, die mit bloßem Auge möglicherweise nicht erkennbar sind. Um den gesamten Workflow zu verbessern, ist LS 6800 mit einem erweiterten 3D Inspection Asset ausgestattet. Dieses Modell ist in der Lage, Bilder aus mehreren Winkeln zu analysieren, wodurch Fehler leichter erkannt werden können, die aus einem einzigen Winkel versteckt oder schwer zu erkennen sind. Mit seiner leistungsstarken Parameterdatenbank können Benutzer problemlos Parameter für bestimmte Aufträge und Prozesse speichern und den Inspektionsprozess effizienter und genauer gestalten. Insgesamt ist LS6800 eine leistungsstarke und vielseitige Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die in der Lage ist, genaue und wiederholbare Inspektionen an einer Vielzahl von Produkten und Prozessen durchzuführen. Seine umfassende Palette von Funktionen, Bildsensoren und optischen Komponenten machen es zur perfekten Lösung für viele verschiedene Arten von Halbleiterinspektionsanforderungen. Mit seinen zuverlässigen und präzisen Ergebnissen ist HITACHI LS 6800 eine ideale Wahl für Kunden, die ein zuverlässiges, leistungsstarkes und kostengünstiges Inspektionssystem suchen.
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