Gebraucht HMI eScan 300 #9200269 zu verkaufen
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ID: 9200269
E-Beam inspection system
Front end:
Brooks Automation:
Fixload V6, 12" Load port
ABM-407B-1-S-CE-S293 Robot
ESC Controller
Pre aligner
TREK Model P1122 electrostatic voltmeter
Main body
Power rack
VARIAN PTS06001UNIV Dry pump.
HMI eScan 300 ist ein Masken- und Wafer-Inspektionsgerät zur Messung von Bildern verschiedener Größen bis einschließlich 300mm-Wafern. Es bietet hervorragenden Kontrast und Schärfe, kombiniert mit der Fähigkeit, kontrastarme Funktionen auf undurchsichtigen und transparenten Maskenbildern zu erkennen. Das System nutzt eine fortschrittliche laseroptische Einheit, um hochauflösende Bilder mit Auflösungen von 50 nm bis 0,1 mm zu erfassen. Es wird von einer leistungsstarken Computerplattform und Software unterstützt, die die Daten aus den Scans schnell und genau verarbeitet. EScan 300 verbindet einen optischen 16-Bit-Bildentdecker mit einem doppelbändigen 256nm kurze und lange Wellenlängenlaserbeleuchtungsmaschine, die individuell konfigurierbare Macht und Signalintensitätseinstellungen haben. Dies ermöglicht eine Erhöhung der Scangeschwindigkeit und -genauigkeit bei gleichzeitiger Erzeugung hochwertiger Bilder. Es bietet eine 9um Laser-Spotgröße, die für die Erkennung kleinerer Defekte und die Verbesserung von Signal-Rausch-Verhältnissen unerlässlich ist. Darüber hinaus kann eine einstellbare Brennweite und Zoomfunktion Bilder so groß wie 40x die Größe der nativen Auflösung zur Verfügung stellen. Zum Messen von Bildern verwendet HMI eScan 300 eine Reihe von Tools, die die Klassifizierung und Validierung von Proben erleichtern. Dazu gehören: Kantenerkennung, Filmdickenmessung und Fehlererkennung. Das Tool Kantenerkennung (Edge Detection) identifiziert alle Bereiche, die nicht einheitlich sind, sodass aktive Ebenenkanten, geschweißte KE-Begrenzungen und Kratzer genau identifiziert werden können. Das Werkzeug zur Filmdickenmessung misst die Dicke von Säuremasken, Plattierschichten und Metallschichten. Schließlich ermöglicht das Tool zur Fehlererkennung die Erkennung von Hohlräumen, Partikelaufbau und Stiften. EScan 300 bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche mit Funktionen wie Tooltips, farbcodierten Markern und Bereichsauswahl. Diese Benutzeroberfläche hilft, die Arbeit des Maskeninspektors zu vereinfachen und zu verbessern. Das Werkzeug umfasst auch eine industrielle Umgebung, in der bis zu 4 Masken- und Waferbilder gleichzeitig inspiziert werden können. Dies ermöglicht einen effizienten Workflow und eine effiziente Produktivität. Schließlich ist HMI eScan 300 ein innovatives, kostengünstiges Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion. Es hilft, die Genauigkeit zu verbessern und Kosten im Zusammenhang mit der Herstellung von modifizierten integrierten Schaltungen zu reduzieren und die Diagnose- und Qualitätssicherungsprozesse zu verbessern. Mit seinen leistungsstarken Hardware- und Softwarefunktionen ist eScan 300 eine ideale Wahl für jeden Inspektionsbedarf in der Halbleiterindustrie.
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