Gebraucht HMI eScan 315 #9204651 zu verkaufen
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ID: 9204651
E-Beam inspection system
(2) TDK TAS300 E4 Load ports
BROOKS AUTOMATION ABM407B-1-S-CE-S293 Robot
BROOKS AUTOMATION PRE-300BU-I-CE-S2 Pre-aligner
BROOKS AUTOMATION SC81-CE Controller
HMI System controller.
HMI eScan 315 ist eine automatisierte Wafer- und Maskeninspektionsanlage von HMI, die für kostengünstige Lösungen für strukturierte Wafer- und Photomaskeninspektionsprozesse entwickelt wurde. Angetrieben von einem proprietären PAT-FINDER Bildprozessor verwendet das System eine dreikanalige farbige CCD-Kamera, um Bilder von bis zu 143 Wafern oder Masken pro Scan genau zu erfassen. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Fehlerinspektion, um sicherzustellen, dass Produktionstechniken konstant zuverlässig und rentabel sind. EScan 315 ist mit einer Hochgeschwindigkeits-Farb-CCD-Kamera und einer X-, Y- und Z-Bewegungsstufe ausgestattet, um eine zuverlässige Abbildung des Produkts über große Bereiche zu gewährleisten. Die Wafer werden zunächst mit Farb-CCD-Technologie gescannt und anschließend die Bilder zur detaillierten Musterinspektion und zum Vergleich verarbeitet. Der PAT-FINDER Bildprozessor verwendet sowohl helle als auch dunkle Feldbeleuchtung, um die Empfindlichkeit zu maximieren, und ein automatisierter Kantenerkennungsalgorithmus bietet eine einheitliche Basislinie für den Mustervergleich und die Quantifizierung. Mit HMI eScan 315 können Benutzer Fehlerschwellen anpassen, zu erkennende Fehlertypen auswählen und Bildscans überprüfen, um die Fehlerursache genau zu ermitteln. Das Gerät verfügt zudem über eine benutzerdefinierte Scouting-Funktion, die eine zusätzliche Kontrolle über den Inspektionsprozess ermöglicht. Die Scouting-Funktion ermöglicht es Benutzern, einfach und schnell auf eine Vielzahl von Produktfehlern zu überprüfen. EScan 315 ist mit branchenüblichen Sicherheitsmerkmalen und einer modularen Konstruktion konzipiert, die Anwendern maximale Flexibilität und Wartungsfreundlichkeit bietet. Die modulare Wartung ermöglicht einen schnellen und einfachen Zugriff auf die Hauptkomponenten, was Ausfallzeiten reduziert und Kosten spart. HMI eScan 315 verfügt auch über erweiterte Bewegungssteuerungsfunktionen, einschließlich mehrachsiger Scannen und interpolativer Bewegungssteuerung. EScan 315 ist ein kostengünstiges Instrument für Wafer- und Maskeninspektionsprozesse und bietet eine genaue Fehlererkennung und Fehlerbehebung. Mit robuster Technologie, fortschrittlichen Bewegungssteuerungsfunktionen und einem modularen Engineering-Design ist HMI eScan 315 eine ideale Wahl für jede Branche oder Forschungsorganisation. Die Maschine bietet zuverlässiges und wiederholbares Scannen mit geringfügiger Wartung und minimalen Ausfallzeiten, was letztlich zu einer höheren Produktionseffizienz und niedrigeren Produktionskosten führt.
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