Gebraucht HMI eScan 315 #9227591 zu verkaufen

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HMI eScan 315
Verkauft
ID: 9227591
Wafergröße: 12"
E-Beam inspection systems, 12".
HMI eScan 315 ist ein Masken- und Wafer-Inspektionsgerät mit der fortschrittlichen Technologie, um Anwendern eine umfassende visuelle und dimensionale Überprüfung von Masken- und Wafer-Mustern zu ermöglichen. EScan 315 verfügt über eine automatisierte Ausrichtstufe, eine feste Maskenstufe, eine Abtaststufe und ein hochintensives Beleuchtungssystem auf Basis programmierbarer LED-Arrays. Es ist mit einer ganzen Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine genaue Messung und eine effiziente Fehlerüberprüfung zu ermöglichen. Die automatisierte Ausrichtstufe verwendet piezoelektrische Bewegung und Bildregistrierung, um eine kritische Allover-Ausrichtung der Maske oder des Wafers im Sichtfeld zu erreichen. Die Genauigkeit dieser Messungen wird durch den hochauflösenden CMOS-Bildsensor gewährleistet, der klare Bilddaten mit einer maximalen Auflösung von bis zu 26 Megapixeln liefert. Die feste Maskenstufe ist mit einer speziellen motorisierten Maskenübersetzungseinheit ausgestattet, um eine präzise Verwaltung mehrerer Maskierungsvorgänge zu ermöglichen. Es ermöglicht die schnelle Inspektion von Merkmalsmaßen und Formen für übergeordnete Defekte mit einer hochgenauen automatischen Bildnahtfunktion. Die Scanstufe ist mit einem fortschrittlichen Stadium ausgestattet, das eine überlegene X-Y-Translation und eine variable Drehzahl für echte 3-dimensionale Inspektionsmöglichkeiten bietet. Es bietet eine präzise Plattform für beispiellose X-Y und Winkelauflösung für Masken- oder Wafer-Feature-Dimensionen und -Formen. Die Beleuchtungsmaschine mit hoher Intensität wurde entwickelt, um einzelne oder mehrere Wellenlängen des Lichts zu erzeugen und ermöglicht eine breite Palette von Inspektionsmodi. Es verfügt über programmierbare LED-Array-Beleuchtung mit einer spektralen Leistungsdichte optimiert für das bestmögliche Inspektionsergebnis. Das Feature Set für HMI eScan 315 wird durch eine Vielzahl von Analysetools ergänzt, die es ermöglichen, zugrunde liegende Strukturen für eine schnelle Fehlerüberprüfung aufzudecken und genau zu messen. Die Tools umfassen RARE-Bildschärfung, Falschfarbenzuordnung, Kontrastverbesserung und Kanten-/Linienanalyse. Insgesamt ist eScan 315 ein modernes Werkzeug zur automatisierten Masken- und Waferinspektion. Es ist mit fortschrittlicher Technologie und Funktionen für automatisierte Ausrichtung, Scannen, Beleuchtung und Analyse ausgestattet und bietet Benutzern die Möglichkeit, eine hochgenaue Fehlererkennung zu erzielen.
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