Gebraucht HOLOGENIX NGS 3500 #9137097 zu verkaufen
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ID: 9137097
Advanced dimensional metrology and defect detection system, 8"
Motorized stage with 8"x8" XY travel
Motorized Z travel
Brightfield and darkfield inspection
(5-100) defects/measurements per second typical
200mm/s staging speed
Software controlled coaxial and backlight
Maximum stage load capacity 50lbs
Granite base and Z column
Closed loop linear stages with position feedback
0.05u resolution linear glass encoder
Software: RMS Vision Systems with color graphics, image archiving, and offline review of defects
Nikon microscope with motorized objective rotation
Tilting ultrawide trinocular viewing head with 10x eyepieces
Hitachi CCTV, Windows XP.
HOLOGENIX NGS 3500 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um potenzielle Defekte zu erkennen und die Qualitätskontrolle zu verbessern. Seine Hauptfunktion ist es, die Qualitätssicherung von Halbleiterherstellungsprozessen zu erleichtern. Das System nutzt fortschrittliche Optik, um die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Erkennung zu verbessern, so dass Qualitätssicherungsteams potenzielle Mängel bei der Prozesskonstruktion oder der Produktionsausführung umgehend erkennen können. NGS 3500 verwendet einen stabilisierten Strahlteiler und ein digitales Zoomobjektiv, um eine detaillierte, hochwertige Bildgebung bereitzustellen. Eine Objektivlinse wird verwendet, um mikroskopische Defekte in den Mustermaterialien zu vergrößern, und die Einheit kann einen einstellbaren Bereich von Vergrößerungen von 150X bis 500X bereitstellen. Eine eingebaute Beleuchtungsmaschine beleuchtet die Probe in vielen verschiedenen Winkeln und ermöglicht die Fehlererkennung unter komplexen Lichtverhältnissen. Die Echtzeit-3D-Bildgebung des Werkzeugs wird präzise konstruiert, indem eine Reihe von Bildern in verschiedenen Tiefen zu einem 3-dimensionalen Bild kombiniert wird. Dieses Produkt erspart Benutzern die manuelle Interpolierung mehrerer Bilder. Dadurch lassen sich die Inspektionszeiten deutlich verkürzen und das Gut kann Defekte sowohl auf makroskopischer als auch auf mikroskopischer Ebene erkennen. HOLOGENIX NGS 3500 verfügt über eine benutzerfreundliche Bedienoberfläche, wodurch lange Trainingseinheiten oder manuelle Eingriffe seitens des Bedieners entfallen. Es kombiniert Bilderfassungs- und Analysefunktionen in einem einzigen Modell, so dass Benutzer große Datenmengen schnell verarbeiten können. Darüber hinaus bietet es Warnfunktionen, um Trends und Veränderungen der Masken- und Waferoberflächenbedingungen zu erkennen. NGS 3500 ist eine sehr zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, da sie nicht nur Mängel erkennt, sondern auch die Qualitätskontrolle verbessert. Dank der integrierten Funktionen ist das System in der Lage, die Inspektionszeit zu reduzieren und die Prozesseffizienz in der Halbleiterindustrie zu steigern.
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