Gebraucht HORIBA PD2-HR #9399895 zu verkaufen

HORIBA PD2-HR ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Analyse und Inspektion von Halbleiterbauelementen, die durch Photolithographieverfahren hergestellt werden. Es wurde speziell entwickelt, um Defekte zu untersuchen, die nicht durch herkömmliche optische Techniken oder andere Elektronenbildsysteme erkannt werden können. Das System besteht aus Komponenten wie Vakuumkammer, Bedienpult, Hardware, Bühne und Scanner. Die Vakuumkammer beherbergt die Hardwarekomponenten, während das Steuerpult verwendet wird, um Prüfparameter einzugeben und den Prozess einzuleiten. Die Stufe beherbergt den Halbleiterwafer und dient zur Bewegung des Wafers nach dem benutzerdefinierten Inspektionsprozess. Schließlich besteht der Scanner aus Elektronenkanone und Optik, die einen Elektronenstrahl auf die Waferoberfläche fokussiert. Der Elektronenstrahl arbeitet in zwei Modi: Abtastung und Bildgebung. Im Scanmodus wird der Strahl über den Wafer gerastert, um Daten zu sammeln, die sich auf die Oberflächenmorphologie beziehen, wie Partikelgröße, Form, Tiefe und Position. Im Abbildungsmodus wird der Strahl mit Ablenkspulen gekippt, um hochauflösende Bilder des Wafers aufzunehmen. PD2-HR verwendet ein ultrahochauflösendes Elektronenmikroskop, um sicherzustellen, dass kritische Fehler erkannt werden können. Seine Mikroskopauflösung ist 3x höher als herkömmliche Elektronenmikroskope, was bedeutet, dass Defekte in fortgeschrittenen Halbleitertechnologien (20 nm Knoten und dünner) schnell und genau erkannt werden können. Darüber hinaus ermöglicht die automatisierte computergestützte Fehlerüberprüfungseinheit die einfache Anzeige und Bewertung potenzieller Fehler. Die Maschine verfügt auch über erweiterte Datenanalysefunktionen und die Möglichkeit, Bilder und Daten zu speichern und zu speichern. Es verfügt auch über erweiterte Inspektionsalgorithmen, um potenzielle Fehlertypen zu identifizieren und zu klassifizieren, einschließlich verschiedener Arten von Partikelverunreinigungen, Kratzern, Korrosion, unterbrochenen Schaltungsleitungen und Speicherorten. Abschließend ist HORIBA PD2-HR ein leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das in fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen minimale Defekte erkennen kann. Es verfügt über ein hochauflösendes Elektronenmikroskop und eine automatisierte computergestützte Fehlerüberprüfung, erweiterte Datenanalysefunktionen und die Möglichkeit, Bilder und Daten einfach zu speichern und zu speichern. Es ist ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von Waferinspektionsprozessen.