Gebraucht HORIBA PR-PD2 #293751087 zu verkaufen

HORIBA PR-PD2
ID: 293751087
Wafergröße: 8"
Reticle / Mask particle detection system, 8".
HORIBA PR-PD2 ist eine leistungsstarke Masken- und Waferinspektionsanlage, die den Durchsatz, die Genauigkeit und die Rückverfolgbarkeit erhöht. Es bietet hervorragende Bildqualität und Fehlererkennungsfunktionen, kombiniert mit einer intuitiven Benutzeroberfläche. Das System verfügt über eine neu entwickelte Rasterelektronenstrahl (SEM) -Technologie, die Wafer von hell bis dunkel mit einer Gleichmäßigkeit von ± 3% abtasten kann. Mit einer 3,2 GHz Scan-Geschwindigkeit ist es in der Lage, bis zu 1000 Wafer/Stunde zu scannen, was den Durchsatz bei reduzierter Inspektionszeit verbessert. Für die automatisierte Fehleranalyse verwendet das Gerät fortschrittliche Algorithmen, die Fehler genau erkennen und Probleme identifizieren. Es verfügt über eine automatisierte Chip-Erkennung mit Röntgenaufnahme, die es ermöglicht, Verunreinigungen auf der Rückseite der Wafer zu erkennen, sowie Prozessausbeute Analyse. Ein „Mustererkennungsfenster-Vergleich“ ermöglicht es der Maschine, Daten aus ähnlichen Mustern zu analysieren, zum Beispiel die gleiche Größe und Orientierung an verschiedenen Orten. Dies ermöglicht eine bessere Leistung im Feld. Das Werkzeug ist mit einer 3D-profiling Fähigkeit ausgestattet, die die Streuungsanalyse führt, um Oberflächenunregelmäßigkeiten und andere Fehler zu identifizieren. Ein automatisierter Reflexionsmodus für Oxide und Nitride unterstützt die Auswertung komplexer Dünnschichtschichten. Das umfassende Softwarepaket bietet alle Funktionen, die erforderlich sind, um eine Reihe von Aufgaben mit Leichtigkeit zu erledigen, wie z. B. Fehlerklassifizierung, Sortierung, Inspektionsmanagement und Data Mining. Die Software wurde speziell entwickelt, um eine umfassende Analyse von 4-Bit-Datenstrukturen bereitzustellen, die einen Vergleich von Bildern aus verschiedenen Quellen ermöglicht. Mit seinen einzigartigen Funktionen bietet HORIBA PR-PD 2 den Herstellern die Möglichkeiten, Gerätemasken zu inspizieren und Fehler in einer Vielzahl von Anwendungen zu erkennen. Es ist ein ideales Werkzeug für die automatisierte Waferinspektion und hilft Herstellern, die Effizienz zu maximieren und die Kosten zu senken.
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