Gebraucht ICOS WI-2200 #9183444 zu verkaufen
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ID: 9183444
Wafer visual inspector, WI-2200
Includes:
Wafer handling system, MH200.
ICOS WI-2200 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Qualitätssicherung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verbessert. WI-2200 bietet hochauflösende Bildgebung und Fehlererkennung, um Verunreinigungen, Defekte oder andere Probleme, die das fertige Produkt betreffen können, schnell zu identifizieren. Das System verwendet spezialisierte Technologie, um eine breite Palette von Wafer- und Maskeninspektionen ohne manuellen Eingriff durchzuführen. Es unterstützt die Bilderfassung, Bildverarbeitung und Bildverarbeitungseinheit, die angeschlossen sind, um den Inspektionsprozess zu überwachen und zu steuern. Die Maschine kann sowohl mit hohen als auch mit niedrigen Geschwindigkeiten arbeiten, was eine schnelle Umdrehung in der Produktion ermöglicht. ICOS WI-2200 bietet zwei Arten von Inspektionen an: Maskeninspektionen erkennen potenzielle Fehler in den Lithographiemasken, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden; Wafer-Inspektionen identifizieren mögliche Fehler in den strukturierten Schichten des Wafers selbst, wie z. B. strukturierte Merkmalfehlstellungen, Litho-Etch-Fehlstellungen und Optofehler. Das Werkzeug wurde entwickelt, um Fehlerkonzentrationen von 0,1 Mikrometer und kleiner zu erkennen und eine Vielzahl von Prüfparametern zur Feinabstimmung der Ergebnisse zu verwenden. Für jede Inspektion kann es bis zu 32 mehrere Bilder in Kontrast-, Einfarben- und SXVF-Modi (segmentierte Mehrfarben) sammeln. Es kann auch optische Überlappungen messen, Linienbreiten auflösen und Overlay über einen speziellen CCD (charge-coupled device) -Kanister erkennen. Das Asset unterstützt eine Vielzahl von Wafergrößen und -materialien sowie die meisten optischen Koordinatensysteme. Die Funktionen von WI-2200 sind über die intuitive Benutzeroberfläche schnell zugänglich. Eine Vielzahl von Automatisierungswerkzeugen, wie Histogrammanalyse, automatische Fehlererkennung, Bilderfassung, Wafer-Map-Viewer, Animationstools und Defekt-Manager, helfen, den Inspektionsvorgang zu beschleunigen und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Das Modell kann auch mit einer Vielzahl von Dateiformaten, einschließlich TIFF, JPEG, BMP und FITS, zur Datenübertragung und -analyse verbunden werden. ICOS WI-2200 ist eine fortschrittliche Ausrüstung zur Erkennung potenzieller Mängel und zur Sicherstellung höchster Produktionsqualität. Sein effizienter und leistungsstarker Betrieb minimiert Ausfallzeiten der Ausrüstung und sorgt dafür, dass der Herstellungsvorgang der Halbleiterbauelemente konsistent und zuverlässig ist.
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