Gebraucht INTELLEMETRICS IL-510 #123172 zu verkaufen

INTELLEMETRICS IL-510
ID: 123172
Optical thickness monitor.
INTELLEMETRICS IL-510 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für genaue und zuverlässige analytische Messungen von Lithographie-Inspektionen entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System integriert eine Vielzahl fortschrittlicher optischer und bildgebender Technologien, um Fehler in Photolithographiemasken und Wafern zu untersuchen und zu identifizieren. IL-510 führt eine optische Hochgeschwindigkeitsprüfung von Kontakt- und Schattenmasken mit bis zu 60.000 Bildern pro Sekunde durch, was eine schnelle Fehlererkennung und -klassifizierung ermöglicht. Für Kontaktmasken ist diese Einheit mit einer vollautomatischen und programmierbaren Bildverarbeitungsmaschine ausgestattet, die ein Fotomasken-Flachfeld-Fokussierwerkzeug zum Sammeln von Bildern verwendet. Dieses Asset wurde für eine schnelle Fehlerüberprüfung und -identifizierung mit fortschrittlicher Highlight-Kalibrierung entwickelt, um eine überlegene Bildqualität und -präzision sicherzustellen. Darüber hinaus verfügt dieses Modell über erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen, um Bildrauschen zu reduzieren, Hintergrundinterferenzen zu beseitigen und den Gesamtbildkontrast zu verbessern. Für Schattenmasken ist INTELLEMETRICS IL-510 mit einer programmierbaren Zoom-Optik ausgestattet, die eine überlegene Vergrößerung bis zu 1000X bei einer Auflösung von 1 Mikron ermöglicht. Dieses System umfasst auch Merkmale wie einen digitalen automatisierten Bildanalysator, eine Laserlinienbeleuchtungseinheit und eine programmierbare gleichmäßige Feldbeleuchtung zur Überprüfung von Fehlern auf beiden Seiten der Maske. Darüber hinaus nutzt IL-510 hochpräzise Ausrichtungs- und Berechnungssysteme, um verschiedene Arten von Fehlern zu erkennen und zu bewerten. Diese Maschine ist in der Lage, zufällige Fehler, Verstopfungen, Nadelöcher, Spitzen und NTF-Muster mit Genauigkeit bis zu 0,01 Mikron zu identifizieren. Darüber hinaus ist INTELLEMETRICS IL-510 mit einem hochpräzisen Werkzeug zur präzisen Ausrichtung der gescannten Wafer ausgestattet. IL-510 erfüllt Industrieanforderungen wie SEMI- M1/M2 und ESD-Standards. Das integrierte Wafer Handling ermöglicht die Inspektion und Kalibrierung von bis zu 1000 Wafern ohne menschliches Eingreifen. Das Modell kann auch in bestehende Lithographieanlagen und Prozessleitsysteme integriert werden, um genaue und zuverlässige Messungen von Lithographiemasken und Wafern zu ermöglichen. Insgesamt bietet INTELLEMETRICS IL-510 eine vollautomatische, Hochgeschwindigkeits- und hochauflösende Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, um die Produktivität zu maximieren und eine überlegene Produktqualität zu gewährleisten.
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