Gebraucht IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B #7444 zu verkaufen
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ID: 7444
Wafergröße: 3", 4", 5", 6"
Wafer Inspection system with wafer loader, 3"-6"
Nikon optics including 10x, 20x, 40x, 60x, BD objectives
Bright field, dark field reflected light measurements
8"x15" stage
6"x6" stage movement.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B ist eine leistungsstarke und hochgenaue Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen. Die Ultrastation besteht aus mehreren Modulen, darunter einem kritischen Dimension (CD) -Messmodul, einem automatisierten Defektinspektionsmodul (ADI), einem automatisierten optischen Inspektionsmodul (AOI), einem Waferinspektionsmodul und einem Ausbeute-Analysemodul. Zunächst ist das CD-Messmodul mit fortschrittlicher Optik ausgestattet und verfügt über eine neue Genauigkeit von 0,7 Mikrometern, die schnelle, präzise und wiederholbare Messungen ermöglicht. Die vielfachen Mikroskopobjektive, ein breites Spektrum an Blickfeldern und das integrierte Laserautofokussystem machen dieses zu einem zuverlässigen, einfachen und vielseitigen Messwerkzeug. Das ADI-Modul ist inzwischen eine Querschnittsbeobachtungseinheit, die es Anwendern ermöglicht, Fehler je nach Größe und Form sowohl in Wafer-gemusterten Bereichen als auch in umgebenden Schreiblinien schnell zu erkennen. Es verfügt über eine mehrfache Bildgebungsoption, die es Benutzern ermöglicht, Daten von bis zu zwei Standorten gleichzeitig zu erfassen. Das AOI-Modul von IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3 B bietet eine effektive Fehlererkennung und -klassifizierung unter Verwendung von Bildvergleichen und erweiterten Musteranpassungsalgorithmen. Es kann sowohl mikroskopische als auch makroskopische Defekte wie Kratzer, Partikel, Flecken und Kratzer sowie Überbrückungen und Öffnungen erkennen. Es ist auch in der Lage, Muster wie Drähte und Vias zu verfolgen und zu zählen. Das Wafer-Inspektionsmodul bietet eine komplette Palette von messtechnischen Funktionen, darunter 2D-Musteranalyse, BGA-Analyse, Pitch-Vergleichsanalyse und integrierte Fehleranalyse. Es ist für Scangeschwindigkeiten bis zu 10X schneller als herkömmliche Systeme konzipiert, und seine automatisierten Systeme bieten präzise und wiederholbare Messwerte. Schließlich hilft das Ertragsanalysemodul Unternehmen, die Ertragsleistung ihrer Produkte zu optimieren. Es bietet erweiterte Funktionen wie Echtzeit-Ertragsverfolgung und Qualitätskontrolle sowie Berichtsfunktionen. Es bietet auch grafische Anzeigen, die verwendet werden können, um Fehlertrends zu überwachen und Ertragsprobleme zu identifizieren. Zusammenfassend ist die Irvine Optics Ultrastation 3B eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die Leistung, Genauigkeit und eine ganze Reihe von Mess- und Ertragsanalyse-Tools kombiniert. Es ist eine ideale Wahl für Unternehmen, die nach einem umfassenden, zuverlässigen und benutzerfreundlichen Gerät suchen, um den Anforderungen ihrer Halbleiteranwendungen gerecht zu werden.
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