Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC BA300-MIT #9158291 zu verkaufen

ID: 9158291
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Automated inspection tool, 12" 2006 vintage.
KARL RUß/MICROTEC BA300-MIT ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die hochauflösende Bildgebung und automatische Fehlererkennung von Photomasken und in der Front-End-Waferbearbeitung entwickelt wurde. Es ist für eine Fehlerabdeckung von bis zu 25 μ m ausgelegt und kann sowohl als eigenständiges Werkzeug als auch in Verbindung mit anderen Mikrolithographie-Werkzeugen verwendet werden. MICROTEC BA300-MIT verfügt über ein hochpräzises automatisiertes Wafertransportsystem, das einen gleichmäßigen und zuverlässigen Betrieb der Einheit gewährleistet. Die Maschine verfügt auch über Optik, die fein abgestimmt werden kann, um hohe Auflösungen und Kontrast zu erreichen. Die Maschine ist für die Verwendung mit kleinen Bildfeldern optimiert, um Hintergrundgeräusche zu reduzieren, und es verwendet ein doppelt telezentrisches Werkzeug, um Bilder zu erfassen. Dies gewährleistet genaue und konsistente Ergebnisse. Neben den bildgebenden Funktionen verfügt KARL RUß BA300-MIT auch über eine integrierte Mikrochipkamera. Diese Kamera wurde entwickelt, um Fehler zu erfassen und ermöglicht die effiziente Verwendung von Inspektionsdaten. Es ist mit einem breiten Dynamikbereich ausgestattet, um Oberflächen- und Unterflächenfehler mit einer hohen Genauigkeit genau zu erkennen und zu messen. Die Kamera ist auch entworfen, um Hintergrundgeräusche und andere Verzerrungen während des Inspektionsprozesses zu minimieren. Zur Masken- und Wafer-Inspektionsprüfung gehört auch eine automatisierte Make-Rung-Inspektion, die zur Erkennung und Isolierung kritischer Mängel dient. Dieser Prozess hilft, die Produktausbeute zu verbessern, indem falsche positive Effekte beseitigt und die Kosten für die Fehlerreparatur gesenkt werden. Das Modell enthält auch einen Fehleranalyse-Algorithmus, um einzelne Fehler in der gescannten Probe zu isolieren und zu identifizieren. Neben der automatisierten Fehlererkennung und -prüfung verfügt BA300-MIT auch über ein OCR-Gerät zur Texterkennung. Mit diesem System können Muster und Symbole auf Masken- und Wafer-Proben schnell gelesen und interpretiert werden. Mit diesen Mustern und Symbolen lassen sich Fehler präzise klassifizieren und die Gesamtgenauigkeit der Einheit verbessern. KARL RUß/MICROTEC BA300-MIT ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die auf zuverlässige und genaue Ergebnisse ausgelegt ist. Die hochauflösende Bildgebung und die automatisierte Fehlererkennung machen es zu einem idealen Werkzeug für die Front-End-Waferbearbeitung. Mit seiner integrierten Mikrochipkamera und dem hohen Dynamikbereich kann das Werkzeug kritische Fehler schnell und genau erkennen. Die automatisierte Inspektionstechnologie und das OCR-Modell der Anlage tragen ebenfalls dazu bei, die Kosten für falsch positive Erkennungs- und Fehlerreparaturen zu senken.
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