Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 Rev. 5 #9016183 zu verkaufen

Die KLA CI 9450 Rev. 5 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Erkennung von Oberflächenfehlern und Fehlern bei der Ausrichtung und Kontrolle von polykristallinen Materialien. Es eignet sich zur Detektion von Halbleiteroberflächenprozessen und kann isolierte nichtperiodische Fehler bis zu 5 nm bis zu großen unregelmäßigen Defekten detektieren. Der CI 9450 verfügt über ein ausgeklügeltes, hochauflösendes optisches System mit patentierter Quad- Pixel™-Technologie für überlegene Signal-zu-Rausch-Leistung. Dies hilft, einen verbesserten Signal-Hintergrund-Kontrast zu erzielen und die Fähigkeit zur Erkennung hochauflösender Fehler zu erhöhen. Das Gerät ist mit Objektiven ausgestattet, die von der langen Arbeitsdistanz (LWD) bis zur hohen numerischen Apertur (NA) reichen. Dies ermöglicht eine hochmoderne Inspektion selbst anspruchsvollster Prozessbedingungen. Die Maschine wird von einer Windows-basierten Software-Suite zur Bedienung und Verwaltung von Daten betrieben. Enthalten sind eine intuitive Benutzeroberfläche, leistungsstarke Bildanalyse-Algorithmen und Automatisierungsfunktionen. Die Bildanalyse wird durch eine Vielzahl grundlegender und erweiterter Funktionen erleichtert, einschließlich Fehlererkennung, Klassifizierung, Überprüfung, Berichterstattung und Sortierung. Für eine effiziente Datenanalyse und einen ausfallsicheren Betrieb steht eine umfassende Suite von Wafer Stand-Alone-Tools zur statistischen Prozesssteuerung (SPC) zur Verfügung. Der CI 9450 verfügt zudem über eine ausgeklügelte Fünf-Achsen-Stufe für die robotische Einpasskontrolle, die einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb mit reduzierter Vibration ermöglicht. Intelligente Renditemappingtechnologie sorgt für höchste Verfügbarkeit durch automatische Optimierung des Sicht- und Abdeckungsverhältnisses. Das Werkzeug bietet außerdem eine zweiachsige Stufenbewegungssteuerung und einen Kreuzachsen-Driftausgleich für erhöhte Genauigkeit. Insgesamt ist ICOS CI 9450 Rev. 5 eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektion, die extrem kleine Mängel erkennen kann. Es bietet anspruchsvolle optische und Bildverarbeitungsfunktionen, eine leistungsstarke Windows-basierte Software-Suite und Fünf-Achsen-Bühne für die robotische One-Pass-Inspektion. Diese Eigenschaften machen den CI 9450 zu einer idealen Lösung für Forschungs- und Produktionsanwendungen.