Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9159845 zu verkaufen

KLA/ICOS CI 9450 ist eine automatisierte optische Inspektionsanlage für die Wafer- und Maskeninspektion. Es ist mit fortschrittlichen Optik-, Elektronik- und Software-Steuerungsplattformen ausgestattet, mit denen Benutzer Funktionen bis zum Sub-Micron-Niveau genau messen können. KLA CI 9450 wurde entwickelt, um eine breite Palette von automatisierten optischen Inspektionsaufgaben wie die Erkennung von Geometriefehlern, Waferoberflächenfehlern, überätzten Merkmalen und Messlinienbreiten durchzuführen. Es kann sowohl in Fertigungs- als auch in Wafer-Testumgebungen verwendet werden. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter ein Objektivrevolver, Lupen, Lichtquelle, Kameras und Bildverarbeitungssoftware. Der Objektivrevolver ist in der Lage einen 10x bis 250x Vergrößerungsbereich und kann über 11 Objektive unterstützen. Es arbeitet mit einer maximalen Drehzahl von 2,5 Umdrehungen pro Sekunde und ist hochgenau, was eine präzise Messung und Analyse auch der kleinsten Merkmale ermöglicht. Die Lichtquelle ist mit LEDs ausgestattet, die einen Bereich von Wellenlängen von 400 Nanometern (nm) bis 900 nm bereitstellen können, sodass Benutzer verschiedene Defekte wie Metallverunreinigungen, Photoresist-Chippen, Partikel und andere Wafer- und Maskendefekte erkennen können. Die Kameras verwenden eine 4 Megapixel CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) Bildeinheit, um Bilder mit einer Pixelgröße von 5,4 μ m bei einer maximalen Auflösung von 3.000 dpi (Punkte pro Zoll) zu erfassen. Außerdem kann die Maschine mithilfe mehrerer Kameras mit einem FOV (Field of View) von jeweils 3 mm einen gesamten Wafer in einer Aufnahme anzeigen. Die inspizierten Bilder werden dann durch proprietäre Bildgebungs- und Rekonstruktionssoftware verarbeitet. Diese Software ermöglicht es dem Tool, eventuelle Fehler zu erkennen und zur weiteren Analyse zu quantifizieren. Es bietet dem Benutzer eine Vielzahl von visuellen Hilfsmitteln, wie Zoom, Konturlinien oder Bildgebung, sowie andere Parameter wie Kontrast, Helligkeit, Superresolution, Polarität, Orientierung und andere Einstellungen. Zusammenfassend ist ICOS CI-9450 eine automatisierte, hochpräzise und Hochgeschwindigkeitsprüfung. Es ist entworfen, um genaue Messungen mit ausgezeichneter Bildqualität zur Verfügung zu stellen. Seine leistungsstarke Optik, Bildgebung und Software-Unterstützung bieten eine robuste und zuverlässige Inspektionsplattform, die sowohl für Fertigungs- als auch für Inspektionszwecke geeignet ist.