Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9159855 zu verkaufen
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ID: 9159855
Weinlese: 2012
Lead inspection system
Camera: Yes
HDD: No
2012 vintage.
KLA/ICOS CI 9450 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die in der Halbleiter-, Display- und mikroelektromechanischen Systemindustrie (MEMS) eingesetzt wird. Es bietet hochauflösende Bildgebungsfunktionen, automatisierte Fehlererkennung, Vergleich zwischen Teststandorten und katalogisierten Bibliotheken sowie messtechnische Funktionen. Dieses Gerät bietet eine breite Palette von Inspektionen, einschließlich Photomasken, SEM (Rasterelektronenmikroskop), Streuung, kritische Dimension und Overlay-Messungen. Sein motorisierter Sortierer bewegt Masken und Wafer schnell und reproduzierbar in das Mikroskop zur Bildgebung und Inspektion. Seine hohe Auflösung ermöglicht eine detaillierte Abbildung verschiedener Merkmale und Defekte auf diesen Substraten. KLA CI 9450 ist mit automatisierten Fehlererkennungs- und Klassifizierungsalgorithmen ausgestattet, die visuelle und nicht-visuelle Fehler schnell erkennen können. Diese Maschine bietet auch Vergleich und Korrelation zwischen vorgefertigten Teststandorten und Bibliotheksstandorten und ermöglicht eine komplexe Fehlererkennung und -klassifizierung. Es kann auch Funktionsfehler identifizieren, die mit bloßem Auge nicht sichtbar sind und die ansonsten nicht nachweisbar wären. ICOS CI-9450 verfügt auch über messtechnische Funktionen, die schnelle und genaue Messungen verschiedener Merkmale an Masken und Wafern wie Linienbreite, Linienlänge und Winkelmessungen ermöglichen. Die automatische Fokusregelung ermöglicht auch schnelle, genaue und wiederholbare Messungen. Die erweiterten Funktionen von CI-9450 für Bildgebung, automatisierte Fehlererkennung, Vergleich und Messtechnik machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Erkennung und Klassifizierung selbst der schwierigsten Fehler auf verschiedenen Substratarten. Diese Eigenschaften, kombiniert mit seiner ausgezeichneten bildgebenden Auflösung und automatisierten Sortierer, machen es zu einem idealen Werkzeug für High-End-Maske und Wafer-Inspektionen.
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