Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9159881 zu verkaufen

KLA/ICOS CI 9450 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind ein vielseitiges und genaues System zur Inspektion der Qualität von Masken und Wafern, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist eine Hochdurchsatz-Wafer-Inspektionseinheit, die optimiert ist, um kleine Merkmale und Defekte auf Halbleiterscheiben abzubilden. Es ist für die Inspektion nur sauberer Wafer konzipiert und eignet sich nicht für die Inspektion von nassen Wafern. Die Maschine ist in der Lage, kleine Merkmale oder Defekte mit Auflösungen von mehr als 1 Mikron Durchmesser zu erkennen. KLA CI 9450 besteht aus einem Multifunktions-Bildgebungswerkzeug, das eine hochauflösende Digitalkamera und eine erweiterte Optik umfasst. Die Beleuchtungseinrichtung besteht aus einem Hochleistungs-LED-Beleuchtungsarray und einem Strahlteiler für die optische Bildgebung, während die Abtaststufen in der Lage sind, die Maske oder den Wafer in der x-, y- und z-Achse zu bewegen. Die Abbildung erfolgt über ein mehrstufiges Sehverfahren, bei dem ein Bild mit niedriger Auflösung mit hoher Geschwindigkeit aufgenommen wird, um den Gesamtzustand zu ermitteln. Werden jedoch Fehler erkannt, ist eine detailliertere Abbildung möglich. Dies wird erreicht, indem man an verschiedene Stellen des Wafers fährt und die Defekte einzeln anvisiert. ICOS CI-9450 kann Fehler wie Stanzfehler, dunkle oder helle Partikel, Bögen, Blasen und Nadelöcher untersuchen. Das Masken- und Wafer-Inspektionsmodell hat auch die Möglichkeit, den Standort des Fehlers als Teil der Fehlerkarte zu erfassen sowie eine automatische Wafer-Klassifizierung wie Gut, Durchschnitt oder BG bereitzustellen. Die Hardware- und Software-Vielseitigkeit der Geräte macht es für verschiedene Anwendungen geeignet, einschließlich Wafer-Ebene, Zellebene und Geräte-Ebene Inspektionen auf einer breiten Palette von Wafer-Typen wie LCDs, Lithographie-Masken und Wafer, HF-Boards, Assembly & Packaged IC s und CMMOS. Die fortschrittlichen Optik- und Beleuchtungssysteme sorgen dafür, dass die Bildqualität ausreichend ist, um zuverlässige Inspektionen zu ermöglichen. KLA/ICOS CI-9450 kann sowohl in einem automatisierten Modus als auch in einem manuellen Scanmodus arbeiten, in dem der Bediener den Scanbereich auswählen und auswählen kann, wie viele Stempel überprüft werden sollen. Die eingebaute Fehleranalysefähigkeit des Systems hilft bei der automatischen Fehlererkennung sowie der Erfassung von fehlerhaften Informationen, die für weitere Einblicke untersucht werden können. Das Gerät ist mit einer erweiterten Administrator- und Datenverwaltungssoftware zum Einrichten und Bedienen der Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine ausgestattet. Diese Software erleichtert die Erstellung von Berichten über den Prüfvorgang und kann die Daten auch so interpretieren, dass bei der Erkennung von Mängeln entsprechende Korrekturmaßnahmen ergriffen werden können. Insgesamt ist CI-9450 Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug ein robustes, zuverlässiges und einfach zu bedienendes Instrument zur Qualitätskontrolle von Masken und Wafern. Es ist sehr effizient und hat die Fähigkeit, kleine Fehler zu erkennen, die andere Inspektionssysteme möglicherweise nicht erkennen können.