Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9173937 zu verkaufen
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ID: 9173937
Lead inspection system
With handler
(1) Pass devices output tray
(2) Reject output trays
Configuration:
(1) Multi tray input module
(2) Multi tray output module for pass devices
(3) Multi tray output module for reject devices
(4) Single tray output module for reject devices.
KLA/ICOS CI 9450 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für hohe Durchsatzleistungen ausgelegt ist. Es ist der Nachfolger von KLA CX 9350 mit fortschrittlicher Automatisierung und anpassbaren Hardware- und Softwarefunktionen. Das System verwendet die gleichzeitige Verwendung von Hellfeld, Dunkelfeld und UV-Bildgebung sowie patentierte verbesserte Overlay-Techniken, um eine präzise Fehlererkennung und -klassifizierung zu gewährleisten. Die Einheit zeigt ein 25 Megapixel brightfield Digitalkamera und ein 8 Megapixel niedriges leichtes Niveau Digitalkamera, jeder mit einer zwei-inchtelecentric Linsenmaschine. Das große Sichtfeld und die hohe Auflösung bieten eine hervorragende Leistung über eine breite Palette von Wafergrößen und -typen. Darüber hinaus ist das Werkzeug auch mit einer UV-binären Phasenkontrast-Abbildungsfähigkeit für eine verbesserte Bildgebung transparenter Materialien ausgestattet. Die hochmodernen CCDs der KLA CI 9450 bieten eine überlegene optische Empfindlichkeit mit verbesserten Artefakten wie 3D-Photoresist-Stepping. Darüber hinaus wird die patentierte erweiterte Overlay-Technik des Asset integriert, um potenzielle Overlay-bezogene Fehler zu erkennen und zu kategorisieren. Hinsichtlich der Inspektionsgeschwindigkeiten hat das Modell eine maximale Beschleunigung von 6G, die > 640 Wafer-Inspektionen pro Stunde ermöglicht. Das Gerät unterstützt auch Parallelismusmerkmale, die eine parallele Ausrichtung mehrerer Muster oder Targets von Endlosscheiben ermöglichen. Darüber hinaus umfasst ICOS CI-9450 erweiterte Automatisierungsfunktionen wie den automatischen Ausstoß von Modulen und mehrere Möglichkeiten zum Laden/Entladen von Mustern, um den Durchsatz zu maximieren. CI-9450 bietet Anwendern eine verbesserte und automatisierte Workflow-Steuerung durch eine Vielzahl benutzerfreundlicher Maßnahmen. Dazu gehören die Fähigkeit, bis zu 10 integrierte Ziele pro Ziel zu verwalten, die Berichterstattung mit detaillierten Datenansichten und einfachen Job-Setup-Tools für Shift-to-Shift. Insgesamt ist KLA/ICOS CI-9450 ein fortschrittliches, hochpräzises Masken- und Waferinspektionssystem, das über eine fortschrittliche automatisierte Workflow-Steuerung, Hochgeschwindigkeitsprüfung und eine überlegene Bildauflösung verfügt. Es ist perfekt für diejenigen, die nach einer verbesserten Ertragsleistung und einem schnelleren Durchsatz in der Halbleiterindustrie suchen.
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