Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9186860 zu verkaufen

KLA / ICOS CI 9450
ID: 9186860
Inspection systems 2004-2005 vintage.
KLA/ICOS CI 9450 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage der KLA-Tencor Corporation. Es wurde entwickelt, um potenzielle Fehler in Halbleiterscheiben, Retikeln und Masken an fortgeschrittenen Prozessknoten zu identifizieren und zu analysieren. KLA CI 9450 verfügt über ein automatisches Wafer-Ausrichtungssystem, das eine präzise Overlay-Ausrichtung bietet, sowie erweiterte Inspektionswerkzeuge, die kritische Abmessungen und Topographie messen. Die optische Maschine des Geräts bietet Helligkeits- und Dunkelfeldfunktionen sowie eine hohe Vergrößerung (bis zu 500x), die sehr detaillierte Inspektionen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt ICOS CI-9450 über mehrere erweiterte Funktionen wie eine automatisierte Waferstufe, einen dynamischen Fokusmechanismus und fortgeschrittene Bildgebungstechniken wie Farbe, Polarisation und Mehrfrequenzzuordnung. Diese Funktionen ermöglichen eine genaue Analyse von Fehlertypen wie Überbrücken, Voiding, Maskenfehler und mehr. Auf der Softwareseite verfügt CI 9450 über eine intuitive Benutzeroberfläche mit integrierten Fehlerklassifizierungs- und Fehlerverwaltungstools sowie Bildanalyse- und Berichtsfunktionen. Detaillierte Inspektionsergebnisse können leicht für nachgelagerte Überprüfungs- und Überprüfungstools wie ICOS/LabExpert exportiert werden, um die Inspektionsergebnisse schnell und einfach überprüfen zu können. KLA- CI-9450 können für eine Vielzahl von Prozessanwendungen konfiguriert werden, einschließlich Lithographie, OPC, Diffraktometrie und mehr. Das Tool ist auch kompatibel mit den erweiterten Schichtprozesssteuerungsfunktionen von KLA/ICOS/Advanced Process and Review Tool, einer integrierten Inspektions- und Überprüfungssoftware. Diese Software bietet Kunden die modernste Technologie zur Steuerung und Verwaltung von Prozessparametern. ICOS CI 9450 ist eine zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektion, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Sein hochmodularer Aufbau ermöglicht die Anpassung an spezifische Anwendungen und seine fortschrittlichen bildgebenden und automatischen Perfomance-Funktionen bieten einen hervorragenden Durchsatz. In Kombination mit der großen Auswahl an Werkzeugen und Software von KLA-Tencor ist CI-9450 eine ideale Lösung für die Prozesskontrolle und Fehlererkennung.
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