Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9208707 zu verkaufen

KLA / ICOS CI 9450
ID: 9208707
Inspection systems.
KLA/ICOS CI 9450 ist ein Inline-Masken- und Wafer-Inspektionssystem zur Überwachung der Qualität des Herstellungsprozesses. Dieses System bietet eine automatisierte, gründliche Überprüfung jeder Phase des Herstellungsprozesses, von der Maske bis zum Wafer. KLA CI 9450 besteht aus vier Phasen: Maskeninspektion, Prozessinspektion, Stempelinspektion und Waferinspektion. Die Phase Maskeninspektion (Mask Inspection) verwendet einen Kantenerkennungsalgorithmus, um die Genauigkeit der Geometrie der Formelemente der Maske wie Linienbreite, Form und Kontrast zu bewerten. Dieser Algorithmus gewährleistet auch eine korrekte Ausrichtung und Platzierung aller Komponenten der Maske. Die Phase der Prozessinspektion bewertet die Qualität des Lithographieprozesses, der die Maske erzeugt, wie Belichtungsgrad, Tiefe und Linearität des Musters. In dieser Phase werden auch Abweichungen von der gewünschten KE-Geometrie geprüft. Die Phase „Die Inspektion“ prüft das Vorhandensein und die Genauigkeit der Transistoren, Leiterbahnen und anderer Komponenten, die zur Erstellung des Chip-Designs verwendet werden. Diese Phase überwacht auch die Oberflächenqualität des Wafers, was die Zuverlässigkeit des Chipprodukts beeinflussen kann. Schließlich sucht die Wafer-Inspektionsphase nach der Bildung der Geräte nach Defekten und Verunreinigungen auf der Waferoberfläche. Auf diese Weise können fehlerhafte Werkzeuge identifiziert und entfernt werden, bevor sie in das Endprodukt aufgenommen werden können. ICOS CI-9450 ist ein äußerst zuverlässiges und präzises Masken- und Wafer-Inspektionssystem. Mit seinem automatisierten vierstufigen Scanning-Prozess ist es in der Lage, Defekte und Kontaminationen in jeder Phase des Herstellungsprozesses zu erkennen und so die höchste Qualität des Endprodukts zu gewährleisten. Es arbeitet schnell und effizient und minimiert den Zeit- und Kostenaufwand für notwendige Qualitätskontrollen.
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