Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9363158 zu verkaufen
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KLA/ICOS CI 9450 ist eine hochwertige automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage, die hervorragende Wafer- und Maskeninspektionsmöglichkeiten für die Halbleiterindustrie bietet. Das System besteht aus drei Kernkomponenten: einer Mask Inspection Unit (MIS), einer Wafer Inspection Machine (WIS) und einem Computer Integrated Tool (CIS). Die KLA CI 9450 wurde entwickelt, um Genauigkeit und Geschwindigkeit bei der Masken- und Waferinspektion bereitzustellen und den Endanwendern die vollständige Kontrolle über den Inspektionsprozess zu gewähren. Das Mask Inspection Asset (MIS) ist ein optisches Modell mit einfarbiger Bildaufnahme, optischer Verzerrungskorrektur und Wellenfrontanalyse. Dieses Gerät wird verwendet, um Defekte und Kontaminationen auf der Maskenoberfläche zu erkennen. Das Wafer Inspection System (WIS) besteht aus einem Präzisions-Lithographiemodul, einer integrierten optischen Einheit und einem Bildkorrektur-Softwarepaket, das zuverlässige Wafer-Oberflächeninspektions- und Bildaufnahmefunktionen bietet. Das WIS dient zur Erkennung von Defekten und Verschmutzungen auf der Waferoberfläche. Schließlich ist die Computer Integrated Machine (CIS) ein Computerwerkzeug, das alle Inspektionssysteme steuert, den Workflow steuert und Wafer- und Maskendaten verwaltet. ICOS CI-9450 verwendet eine Reihe fortschrittlicher Technologien, einschließlich hochmoderner Lichtfeldbildgebung und DIC-Bildgebung (Differential Interference Contrast), um Fehler und Kontaminationen auf Wafern und Masken genau zu erkennen und zu markieren. Eine Reihe von Lichtfiltern, optischen Objektiven und entgrößerten Kameras sind in das Asset integriert, um eine überlegene Inspektion zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Vielzahl automatisierter Inspektions- und Reporting-Tools wie Fehlerklassifizierung und Prozesskontrolle. Schließlich integriert die Anlage Präzisionsrobotik zur Automatisierung der gesamten Masken- und Waferinspektionsprozesse. Dies sorgt für Genauigkeit, erhöht die Geschwindigkeit des Inspektionsprozesses und reduziert das Risiko menschlicher Fehler. Darüber hinaus bietet das System umfassende On-Board-Dokumentations- und Programmiermöglichkeiten sowie eine vollständige Rückverfolgbarkeit für alle Prüfergebnisse. Als solche können Kunden sicher sein, dass UCK- CI-9450 genaue und zuverlässige Inspektionsergebnisse für jede Charge von Masken und Wafern liefern wird.
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