Gebraucht KLA / ICOS CI 9450 #9363159 zu verkaufen
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KLA/ICOS CI 9450 Mask & Wafer Inspection Equipment wurde entwickelt, um die hohen Qualitätsanforderungen der hochmodernen Patterned-Media-Inspektion zu erfüllen. Es bietet hochauflösende produktionsfähige Bildgebung, automatisierte Echtzeit-Systemreparatur und umfangreiche Inspektionsmöglichkeiten, um maximale Mustertreue, Fehlererkennung und Ertragssicherheit zu bieten. Das Gerät ist mit einer hochauflösenden 6-Megapixel-Vollbildkamera ausgestattet, die eine Auflösung von mehr als 1 µm und eine Messgenauigkeit von mehr als 1 µm ermöglicht. Es ist auch in der Lage, Bilddaten sowohl in linearen als auch in Multi-View-Modi zu erfassen. Eine feldwechselbare dynamische Kaltfeldemissionsquelle sorgt für die optimale Ausleuchtung zur Fehlererkennung, während die adaptive Beleuchtungstechnik der Maschine für kontrastoptimierte Ergebnisse sorgt. Die erweiterten Fehlererkennungsfunktionen des Tools umfassen die automatische Klassifizierung und Sortierung von Fehlern, die unterstützte Klassifizierung von Fehlern, die falsch-positive Minderung und die Prozesskontrolle. Es kann eine breite Palette von Defekten überprüfen, von Defekten größer als 0,8 µm bis zu ultrawinzigen Defekten kleiner als 500 nm. Darüber hinaus verfügt KLA CI 9450 über ein hocheffizientes global koordiniertes Alignment-Tool und automatisierte Reparaturfunktionen für Vermögenswerte, um potenziell verschwendete Inspektionszeiten zu reduzieren und den Ertrag zu verbessern. Das Modell enthält eine umfassende Dashboard-Benutzeroberfläche zum Anzeigen, Analysieren und Verwalten von Inspektionsergebnissen. Die vollständige Rückverfolgbarkeit aller Inspektionen ermöglicht eine schnelle Beurteilung der Änderungen des Lithographieprozesses und die Überprüfung der Inspektionsbedingungen und -ergebnisse. Zusätzlich ist die Ausrüstung mit einer leistungsstarken Reporting-Schnittstelle integriert, um eine effizientere Design-for-Manufacturing-Analyse zu ermöglichen. ICOS CI-9450 bietet Hochgeschwindigkeits-Fernzugriff und die kalibrierte Messoption des Systems validiert Fehlermessgenauigkeit und Zuverlässigkeit. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Softwarefunktionen, einschließlich Auto-Fokus, Wafer-flache Auto-Erkennung und Level-Memory-Funktionen. Die CORE Machine Softwareplattform bietet ein tiefgreifendes und intuitives Benutzererlebnis und macht das Tool zu einer idealen Wahl für die Patterned-Media-Inspektion.
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