Gebraucht KLA / ICOS CI-T120 #293826047 zu verkaufen

KLA / ICOS CI-T120
ID: 293826047
Scanner.
KLA/ICOS CI-T120 ist ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das auf die Anforderungen der Präzisionsmesstechnik und Materialanalyse von hochmodernen Halbleiterherstellungsprozessschritten ausgelegt ist. Es verfügt über proprietäre erweiterte optische Inspektionssysteme und automatisierte Ausrichtungssysteme, um höchste messtechnische Qualität und Leistung zu gewährleisten und die anspruchsvollsten Anforderungen zu erfüllen. Das System ist in der Lage, Photomasken bis zum 60nm Technologieknoten zu inspizieren. KLA CI T120 ist mit KLA patentierten spektroskopischen Hellfeld-Bildgebung für erhöhte Empfindlichkeit ausgestattet. Dies ermöglicht eine höhere Aufnahmegeschwindigkeit, verbesserte Inspektionsgenauigkeit und ein höheres Sichtfeld (FOV). Die Lichtfeld-Bildgebung ermöglicht Kontrastvariation durch Betrieb unter verschiedenen Quellen: reflektiertes Hellfeld (MRBS), Dunkelfeldbeleuchtung (MDBS) und ultraviolette Beleuchtung (MUV). ICOS CI T-120 verfügt auch über ICOS erweiterte optische Mustererkennungsfähigkeit, mit Funktionen wie Linienbreitenmessung (LWM), Kontaktlochmessung (CHM) und MEEF-Extraktion (MEEF). Neben der hohen Bildqualität bietet CI T-120 auch eine automatisierte Ausrichtung und Fokussierbarkeit. Diese Funktionen gewährleisten eine konsistente und genaue Ausrichtung des Bildes auf die Maske oder den Wafer und eine schnelle und präzise Messung des Features. Ein automatisierter Ausrichtungsalgorithmus wird für die beste Positioniergenauigkeit verwendet, während eine schnelle Fokuserkennung eine schnelle und genaue Feinfokusanpassung ermöglicht. Die KLA CI-T120 verfügt über umfassende Datenanalysefunktionen, die eine detaillierte Fehleranalyse ermöglichen. Es bietet sowohl die Echtzeit-Fehlerüberwachung als auch die Möglichkeit, eine statische Inspektion zu erweitern, um eine Vielzahl von Gerätestrukturen zu erfüllen. Es hat auch eine High-Speed-Analyse-Motor und erweiterte Defekt Klassifizierung, für schnellen Durchsatz und konsistente Ergebnisse. CI T120 wurde entwickelt, um die Gesamtbetriebskosten zu minimieren. Es ist aus ultrapräzisen Teilen gebaut, mit einer robusten Konstruktion, um einen stabilen Betrieb zu gewährleisten. Es erfordert minimale Bedienerschulung, hat eine geringe Kosten für Verbrauchsmaterialien und ist für hohen Durchsatz und Produktivität konzipiert. ICOS CI T120 ist ein fortschrittliches Inspektionssystem, das überlegene Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu einem attraktiven Preis bietet. Es ist die ideale Lösung für diejenigen, die eine präzise Messtechnik und Materialanalyse in den anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozessen benötigen.
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