Gebraucht KLA / ICOS CI-T120 #9190203 zu verkaufen
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KLA/ICOS CI-T120 ist eine Hochgeschwindigkeits-Dualstrahl-optische Inspektionseinrichtung, die zur Inspektion von Halbleiterscheiben und Masken verwendet wird. Es ist eine kostengünstige Lösung zur Erkennung von Defekten auf Halbleiterscheiben bei Front-End- und Back-End-Prozessen der integrierten Schaltungsherstellung. KLA CI T120 ist in der Lage, sehr kleine Defekte wie Partikelfehler, Kratzer, Hohlräume und Nichtkonformitäten auf Wafern und Masken zu erkennen. Das System verwendet zwei synchronisierte Scanmikroskope, um Wafer und Masken zu untersuchen, indem Helligkeitsfeld-Beleuchtung, Durchlicht-Bildgebung und Dunkelfeld-Hellfeld-Bildgebung kombiniert werden. Die Hellfeldbeleuchtung erkennt problemlos Partikelfehler, während die lichtdurchlässige bildgebende Technologie Submikrondefekte einschließlich Hohlräume identifiziert. Die Dunkelfeldlichtfeld-Abbildung liefert hohe Kontrast- und hochauflösende Bilder für eine optimale Fehlercharakterisierung. ICOS CI T-120 umfasst eine erweiterte automatische Signalverarbeitung mit programmierbaren Fehlererkennungsschwellen. Dadurch kann das Gerät Fehler automatisch erkennen und Fehlalarme minimieren. ICOS CI T120 hat eine maximale Feldgröße von 3 Zoll (7,62 cm) und bietet eine Datenerfassungsrate von bis zu 1,3 Megapixel/sec. Es verfügt auch über 8-Bit- und 12-Bit-Pixel-Bittiefen, die es der Maschine ermöglichen, selbst kleinste Fehler genau zu erfassen und zu analysieren. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von Medien, einschließlich CDs, DVDs, Bänder und Festplatten. Das Tool ist mit einer einfachen und intuitiven benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche ausgestattet, die Bedienern hilft, Wafer und Masken schnell und effizient zu inspizieren. Das Asset kann in ein bestehendes Halbleiterherstellungsmodell integriert werden, was eine einfache Implementierung und Integration ermöglicht. Es enthält auch eine Reihe von Softwareoptionen, um sicherzustellen, dass es angepasst und konfiguriert werden kann, um die spezifischen Anforderungen jedes Kunden zu erfüllen. Insgesamt ist KLA CI-T120 eine leistungsstarke Inspektionsausrüstung, die eine hochpräzise, kostengünstige Fehlerbewertung und -analyse für Halbleiterscheiben und -masken ermöglicht. Seine Dual-Strahl-Optik, programmierbare Fehlererkennungsfunktionen und hohe Akquisitionsrate sorgen dafür, dass er auch kleinste Fehler genau identifizieren kann. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle, Kompatibilität mit verschiedenen Medien und Integrationsfähigkeit machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterhersteller.
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