Gebraucht KLA / ICOS CI-T120 #9312491 zu verkaufen
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KLA/ICOS CI-T120 ist ein Auge in den Himmel Typ automatisierte Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung. Dieses leistungsstarke Inspektionssystem ermöglicht eine effiziente, Inline-Produktion und eine schnelle Implementierung von Werkzeugprüflösungen der nächsten Generation. KLA CI T120 ist mit einer automatisierten fünfachsigen x/y/z/Dreh-/Kippstufe konfiguriert, die eine eigene Bewegungssteuerung umfasst, die unabhängig von der Sehmaschine arbeitet. Dieses Bewegungssteuerungswerkzeug ermöglicht eine schnelle Abtastung der Halbleiterscheibe, um eine mehrfache Düseninspektion, Ausrichtung und Nachprüfqualitätskontrolle zu ermöglichen. ICOS CI T-120 nutzt seine proprietäre fortgeschrittene Mustererkennung und seine 5-AXIS Mikroskopstufe für die Inspektion von 2D-, 3D-und Stufenfunktionen. KLA CI T-120 wurde entwickelt, um blanke und gemusterte Halbleiterscheiben gleichzeitig auf Defekte zu untersuchen. KLA CI-T120 ist mit UV-Beleuchtung konfigurierbar und die neuesten Mega-Core-Bildsensoren für verbesserte Bildgebungsergebnisse. Dieses Asset unterstützt auch zwei Kameras mit voller Auflösung für gleichzeitige Inspektionen. KLA/ICOS CI T-120 ist mit fortschrittlicher ultra-genauer Ausrichtungsausrichtungssteuerung für die automatisierte Ausrichtung und Registrierung von Funktionen und Funktionen über Pads ausgestattet. Dieses stabile Modell ermöglicht auch volle Flexibilität bei der Registrierung von sich wiederholenden Mustern. CI-T120 ist in der Lage, Muster und Defekte zu überprüfen und zu messen, einschließlich Spannungsgrenzen, Open/Shorts, Open-Source, Linienbreite und Musterfehlstellung. Die fortschrittlichen bildgebenden und proprietären Inspektionsalgorithmen können auch eine Vielzahl von Mustern wie kontaktlose, Line-Fill, Line-Crossing, Spannungsgrenzen, Gitter- und Halo-Strukturen identifizieren. Das Gerät kann Referenzregistriermarken sowie hohe und niedrige Präzision von Defekten messen, und das Sichtfeld kann für maximale Erfassung und Genauigkeit angepasst werden. Die flexible Softwareplattform von ICOS CI T120 macht Integration und Bedienung einfach und bietet Anwendern eine vollständige Palette von Inspektions- und Reporting-Tools. Betriebssystem-Software kann direkt von der eingebetteten Multi-Prozessor-Einheit ausgeführt werden. Durch die Bereitstellung einer grafischen Benutzeroberfläche sowie den Zugriff auf den Touchscreen wird die Bedienung weiter gestrafft. Die Software enthält auch eine Reihe von Funktionen und Steuerungsoptionen, um das Gerät an bestimmte Anforderungen anzupassen. CI T-120 ist für den 24/7-Betrieb ausgelegt und bietet eine effiziente, fehlerfreie Lösung für die automatisierte Masken- und Waferinspektion. Die maximale Bewegungsgenauigkeit von 10 Mikrometern und seine Z-Achsen-Steuerung unter Mikrometer sorgen für einen sauberen und genauen Pass oder Ausfall für kritische Formeigenschaften. Diese Maschine ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Lösung für Halbleiterhersteller und wurde entwickelt, um den Durchsatz und die Qualität für eine erfolgreiche Geräteproduktion zu maximieren.
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