Gebraucht KLA / ICOS CI T620 #9384157 zu verkaufen

KLA/ICOS CI T620 ist eine vollautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die die effiziente Produktion von Halbleiter-ICs unterstützt. Das System verwendet mehrwinklige, mehrdimensionale Bildgebung von gemusterten Retikeln, Wafern, Masken und verwandten Substraten, um Oberflächenteilchen und Defekte zu erkennen. Es ist mit einer hochauflösenden monochromen CCD-Kameras, mit echten Farboptiken und einem hochauflösenden LCD-Monitor für die Anzeige von Bildern ausgestattet. Darüber hinaus wird eine Hochleistungs-LED-Einheit zur Beleuchtung der Inspektionsziele verwendet, während zwei Laser-Autofokus-Einheiten installiert sind, um die Inspektionsstellen genau anzuzielen. KLA CI T620 Maschine verwendet eine Reihe von Scan-Optionen, um beste Ergebnisse aus dem Inspektionsprozess zu erzielen. Dazu gehören die Standardoption „1x1“ und die Option „2x2“, die den gesamten Bereich durch Scannen sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung inspiziert. Das Tool verwendet eine Vielzahl von Erkennungsmethoden, um zwischen guten und schlechten Pixeln zu unterscheiden. Dazu gehören: Graustufenhistogramme, statistische Mustererkennung und Fehlerdichte durch lokale Flächenanalyse. Ein grundlegender oder erweiterter Inspektionsmodus kann verwendet werden, wobei der Basismodus einen schnellen Scan für einzelne oder zwei Schichten von Maske und Wafer ermöglicht. Der erweiterte Modus eignet sich für die mehrschichtige und ultrafeine Geräteprüfung. Das Asset bietet außerdem eine breite Palette optionaler Datenanalysetools, mit denen Ingenieure die Ergebnisse ihrer Inspektion besser verstehen können. Dazu gehört eine Fehlerüberprüfungsliste, mit der Benutzer erkannte Fehler in einem Tabellenformat anzeigen können. Eine weitere beliebte Option ist der Fehlerbericht, der eine tabellarische Liste der erkannten Fehler sowie zusätzliche Parameter wie Größe, Form und Materialtyp enthält. ICOS- CI-T620 können konfiguriert werden, um eine Vielzahl von Fehlerkategorien zu erkennen und zu klassifizieren, einschließlich Mustererkennung und Fremdmaterial. Es ist in der Lage, Defektscreening mit mehreren Methoden durchzuführen, wie elektrische Prüfung, Elektronenmikroskopie-Technologie, und elektrische Fan-out-Analyse. Das Modell sorgt für eine effiziente Probenahme durch drei Probenmodi - Fokus-Belichtungs-Modus (FE), Variable-Fokussierung-Methode (VFM) und zweistufige Probenahme-Methode (TSM). CI-T620 ist eine zuverlässige Ausrüstung, mit einer schnellen Reaktionszeit und Funktionen, die auf der Grundlage spezifischer Anwendung und keeppace mit fortschreitender Technologie angepasst werden können. Es liefert genaue und reproduzierbare Inspektionsergebnisse, sodass Ingenieure Fehler schnell beheben und die Gesamtqualität und Zuverlässigkeit ihrer hergestellten Produkte verbessern können.