Gebraucht KLA / ICOS WI-1500 #9096185 zu verkaufen

KLA/ICOS WI-1500 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur genauen und zuverlässigen Erkennung von Defekten auf Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. KLA WI-1500 System ist vielseitig einsetzbar und kann mehrere Wafertypen, Kondensatoren, Widerstände, Filme und verschiedene andere Gerätetypen überprüfen. Das ICOS WI-1500 Gerät ist mit drei brechenden und reflektierenden optischen Systemen sowie einer Reihe von Tandem-Bildgebungs- und spektralen Bildgebungssensoren ausgestattet. Die verschiedenen Optiken bieten ein breites Sichtfeld, um eine vollständige Fehlerabdeckung über den Wafer zu bieten. Ein Paar Beleuchtungsquellen stehen zur Verfügung, darunter eine helle 300-Watt Xe/Ne-Quelle und eine CoolLED-Nahinfrarotquelle. Die bildgebenden Sensoren scannen den Wafer mit Auflösungen von bis zu 0,4 µm, einschließlich hochauflösender Inspektionsmodi mit Auflösungen von bis zu 0,15 µm. Die Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Defekten zu erkennen, einschließlich Verunreinigungen, Kratzer, Kurzschlussfehler und Stiftlöcher. Darüber hinaus unterstützt WI-1500 die automatisierte Verbesserung des Fehlersignals, so dass es minutengenaue Kratzer und Partikel erkennen und auslesen kann, die mit dem menschlichen Auge nicht zu sehen sind. KLA/ICOS WI-1500 ist vollautomatisch und kann je nach Art des zu untersuchenden Fehlers bis zu 500 Wafer-Scans pro Stunde durchführen. Es bietet auch einen schnellen Durchsatz mit minimaler Rüstzeit. Ein integriertes Wafer-Tracking-Tool verfolgt die Position und Orientierung des Wafers und gewährleistet die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Fehlermessung. Das Asset ist mit einer leistungsstarken Suite von Tools zur schnellen Fehlererkennung und -klassifizierung ausgestattet. Es verfügt über automatisierte Sortierfunktionen, so dass erfahrene Operatoren schnell zwischen falschen positiven und echten blinden Defekten unterscheiden können. Darüber hinaus ermöglicht ein mehrstufiges Defektklassifikationsmodell die schnelle Klassifizierung von Defekten anhand ihrer Größe und Form. Die KLA- WI-1500 umfasst auch verschiedene Datenanalysefunktionen, die wertvolle Einblicke in die Leistung des Geräts liefern sollen, einschließlich optischer Reflektivität, Rauheit der Metalllinie, Seitenwandrauhigkeit, Überlagerungsgenauigkeit und 5D-Ausrichtung. Zusätzlich zur Fehleranalyse kann das System automatische Berichte und komplexe Grafiken erstellen, um einen detaillierten Einblick in die Leistung des Wafers zu erhalten. Insgesamt bietet ICOS WI-1500 eine leistungsstarke Lösung für die Masken- und Waferinspektion, die Fehler bei Auflösungen bis zu 0,4 Mikrometer genau erkennen und klassifizieren kann. Es bietet leistungsstarke Datenanalysefunktionen und kann detaillierte Berichte und Grafiken erstellen und wertvolle Einblicke in die Leistung des Geräts liefern.