Gebraucht KLA / TENCOR 0116358-001-REV A #9292424 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 0116358-001-REV A ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die darauf ausgelegt ist, dass hohe Qualitätsstandards kostengünstig erfüllt werden. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem fortgeschrittenen optischen Prüfkopf, einem softwaregesteuerten Wafer- und Reticle-Handling-Gerät und einer integrierten interpretiven Auswertemaschine. Der optische Inspektionskopf verwendet sowohl Helligkeits- als auch Dunkelfeldbeleuchtung und liefert eine detaillierte visuelle Analyse sowohl von Halbleiterwafern als auch von Schaltungsmusterschichten. Die Bilder werden mit einer hochauflösenden CCD-Kamera aufgenommen und durch spezialisierte Inspektionsalgorithmen zur Vollfelderkennung von Fehlern analysiert. Zusätzlich bietet eine 85mm superempfindliche Linse die Möglichkeit, auch den geringsten Defekt schnell zu erkennen. Das Wafer- und Reticle-Handling-Tool umfasst eine voll ausgestattete Workstation, um Wafer und Reticles präzise zu bewegen, sowie Positionsabtastbewegungen für Gleichmäßigkeit über einen einzelnen Wafer und über mehrere Wafer. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Teile des Wafers und des Retikels genau und effizient überprüft werden. Schließlich umfasst der Vermögenswert ein integriertes Bewertungsmodell für Dolmetscher. Dies bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche, um die Inspektionsergebnisse zu überprüfen und detaillierte Ausgabeberichte zu erstellen. Dies erleichtert die Erkennung und Behebung von Problemen und stellt sicher, dass ein hohes Qualitätsniveau konstant erreicht wird. Zusammenfassend ist KLA 0116358-001-REV A eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die Helligkeits- und Dunkelfeldbeleuchtung zur detaillierten visuellen Analyse sowohl von Halbleiterwafern als auch von Schaltungsmusterschichten verwendet. Es umfasst ein Präzisionspositionierungs- und Handhabungssystem sowie eine integrierte Auswerteeinheit zur einfachen Überprüfung der Inspektionsergebnisse und zur schnellen und kostengünstigen Fehlererkennung und -behebung.
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