Gebraucht KLA / TENCOR 201 #293635802 zu verkaufen

ID: 293635802
Weinlese: 1985
Mask inspection system 1985 vintage.
KLA/TENCOR 201 ist eine automatisierte Inspektionsanlage für die Herstellung von Masken und Wafern. Es wird verwendet, um sicherzustellen, dass die in der Lithographie und anderen Prozessen verwendeten Masken fehlerfrei sind. Das System besteht aus zwei Teilen: der Mask-Inspektionsstation (MIS) und der Wafer-Inspektionsstation (WIS). Das MIS wurde entwickelt, um bis zu 4-8 flache, hochauflösende optische Felder einer 2-seitigen oder 2-schichtigen Maske zu inspizieren. Das MIS wird verwendet, um Fehler im Photomaskenmuster mit sehr hoher Empfindlichkeit zu erkennen, was eine vollständige Fehlerabdeckung ermöglicht. Es ist in der Lage, verschiedene Arten von prozessbedingten Defekten zu analysieren und bietet präzise Fehlerkoordinatenmessungen. Die Maschine erkennt automatisch verschiedene Formgrößen und akzeptiert verschiedene Masken. Das WIS inspiziert bis zu 8 flache, hochauflösende optische Felder eines 4-Zoll oder 6-Zoll Wafers. Es bietet eine genaue Fehlererkennung, ohne dass Fehler fehlen. Diese Maschine bietet sowohl Innen- als auch Umfangsdefektabdeckung mit einer Pass/Fail-Bestimmung und einer detaillierten Fehlerkarte. Das WIS ermöglicht auch die optische Signaturerkennung, ein effektives Werkzeug zur Erkennung von Prozessresten, Strukturfehlern und anderen Produktionsproblemen. KLA 201 kann in Reinraumumgebungen der Klasse 100 betrieben werden und verfügt über eine benutzerfreundliche Software, die den Fernzugriff von jedem PC aus ermöglicht. Das Gerät bietet eine umfassende Kontrolle über den gesamten Prozess- und Überwachungszyklus und unterstützt mehrere Sprachen. Insgesamt ist TENCOR 201 eine zuverlässige und effiziente Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine. Es wurde entwickelt, um verschiedene Arten von Defekten zu erkennen und bietet überlegene Zuverlässigkeit bei präziser Fehlermessung. Dieses Werkzeug eignet sich für Halbleiterherstellung, Masken- und Waferherstellung und andere verwandte Industrien.
Es liegen noch keine Bewertungen vor