Gebraucht KLA / TENCOR 2111 #9410122 zu verkaufen

ID: 9410122
Weinlese: 1992
Defect review system 1992 vintage.
KLA/TENCOR 2111 ist eine hochleistungsfähige, hochauflösende Masken- und Waferinspektionsanlage, die bei hoher Geschwindigkeit präzise, wiederholbare Ergebnisse liefern kann. Das System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von prozessbezogenen Defekten zu erkennen und zu analysieren, darunter Linien- und Raumfehler, Partikelkonzentrationen, Konstruktionsgeometriefehler und Submikromusterdefekte. KLA 2111 wird mit einer fortgeschrittenen Doppelwellenlängenlaserentdeckungseinheit ausgestattet, die sowohl hochauflösende als auch schnelllaufende Defektentdeckung berücksichtigt. Es verfügt auch über ein großes Sichtfeld, so dass es bis zu 77mm Substratfläche zu inspizieren. Die Maschine verfügt über eine Reihe konfigurierbarer Verarbeitungsparameter, mit denen Benutzer den Masken- und Waferinspektionsprozess an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Herzstück des Tools ist die Bildgebungs- und Mustererkennungssoftware. Diese Software arbeitet in Verbindung mit dem Dual-Wellenlängen-Laser-Detektionsmodell des Asset, um Größe, Form und Kontrast verschiedener prozessbezogener Defekte genau zu erfassen und zu messen. Die Software hat auch die Möglichkeit, mit einer Reihe anderer Parameter konfiguriert zu werden, einschließlich der automatischen Population von Fehlalarmobjekten und der statistischen Analyse von Fehlerpopulationen. Die Ausstattung ist zudem mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet. Es verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer prozessbezogene Fehler schnell und einfach messen und überwachen können. Dies macht es einfach, prozessbezogene Fehler zu überwachen, zu melden und zu analysieren sowie den Inspektionsprozess an die genauen Bedürfnisse des Benutzers anzupassen. TENCOR 2111 ist ein hochleistungsfähiges, hochauflösendes Masken- und Waferinspektionssystem, das sowohl für industrielle als auch für Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Es liefert präzise und wiederholbare Ergebnisse bei hoher Geschwindigkeit, so dass es eine ideale Wahl für Anwendungen in der Halbleiterproduktion, Mikroelektronik und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Seine erweiterte Erkennungseinheit, intuitive GUI und konfigurierbare Verarbeitungsparameter machen es zu einem leistungsfähigen und zuverlässigen Werkzeug für diejenigen in der Halbleiterindustrie.
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