Gebraucht KLA / TENCOR 2131 #195227 zu verkaufen
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ID: 195227
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 8"
UI System
KLA-2252 System
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Power and signal cable
Robot
X and Y Chuck stage
PC
Power supply: 120 V, 25 A, 50/60 Hz, Single phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2131 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage der nächsten Generation, die für die Produktionsprüfung von Halbleiterscheiben und -masken entwickelt wurde. Die Kombination aus modernster Hardware und fortschrittlicher Software ermöglicht eine schnelle und genaue Erkennung und Charakterisierung von Defekten während des Herstellungsprozesses von Wafern. Das System ist in der Lage, mit sehr hohen Geschwindigkeiten zu arbeiten, mit einer maximalen Auflösung von 50 Nanometern über das gesamte Sichtfeld. Es umfasst ein Master-Subsystem mit einer farbigen CCD-Kamera, einer hochpräzisen Bühne und einer hochintensiven Beleuchtung. Ergänzt wird dies durch eine einzigartige multifunktionale hochauflösende Abbildungseinheit, die zwei volle Schichten des Wafers abdeckt. Darüber hinaus verwendet die Maschine eine Vielzahl von analytischen Werkzeugen, wie E-Strahl-Messtechnik, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Inspektionsprozesses zu maximieren. Die intuitive Software des Tools ermöglicht es dem Bediener, die Analyseparameter schnell und effektiv einzustellen und den Test einzuleiten. Sein benutzerfreundliches Inspektionsmenü bietet Bedienern eine Reihe von Optionen, einschließlich Infrarot-Bildgebung, spektrale Bildgebung, Visualisierung und Metriken und Fehlererkennung. Darüber hinaus ermöglicht die Echtzeit-Datenanalyse des Vermögenswertes den Betreibern, die Ergebnisse jeder Inspektion einfach einzusehen und zu bewerten. Darüber hinaus bietet KLA 2131 eine automatische Klassifizierung von Fehlern nach Industriestandards. Dies ermöglicht vorhersagbare Inspektionsergebnisse und kann dazu beitragen, die Zykluszeit während der Geräteherstellung zu reduzieren. Es entspricht auch den Sicherheitsrichtlinien und Emissionsnormen der Industrie. TENCOR 2131 ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Herstellung von Wafern über die Verdünnung von Wafern bis hin zur Maskenbildgebung. Seine erweiterten Funktionen und intuitive Software machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Halbleiterherstellung und -verarbeitung.
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