Gebraucht KLA / TENCOR 2131 #9186639 zu verkaufen

ID: 9186639
Wafergröße: 8"
Inspection system, 8" Parts machine.
KLA/TENCOR 2131 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage. Es ist ein automatisiertes, computergesteuertes Gerät, das ultrahochauflösende Bildgebung für die Masken- und Wafer-Fehlerinspektion mit fortschrittlicher Hochgeschwindigkeitsmessung, optischer und statistischer Analysesoftware bietet. Fortschrittliche optische Technologien bieten überlegene Bilddetail- und Bilderkennungsfunktionen für Halbleitermasken und Wafer. Die Optik verwendet ein Laserbeleuchtungssystem mit einer hochauflösenden CCD (charge-coupled device) Kamera, die klare Fehlerbilder liefert. Es verfügt über eine rauscharme lineare Diodenanordnung und ein hochauflösendes, luftbeabstandetes Zoomobjektiv. Die Kameraeinheit kann das geprüfte Element bis zu einem Faktor von 256X vergrößern und verfügt über eine maximale Zeilen- und Raummessung von 0,12 Mikrometern, was eine ausreichende Auflösung und Empfindlichkeit bietet, um eine kleine merkmalskritische Fehlererkennung durchzuführen. Die UCK 2131 verfügt über eine mehrfache Probenstufe, die isoliert werden kann, um eine saubere und staubfreie Umgebung zu schaffen. Die automatisierte Bildverarbeitungsmaschine ermöglicht die automatische Erkennung und Identifizierung von Fehlern, die über die herkömmliche Bildverarbeitung hinausgehen. Es kann auch schwache Defekte, wie Überbrückung, analysieren, indem weiter gescannt wird, nachdem ein Defekt erkannt wurde. Das Tool kombiniert eine Reihe fortschrittlicher Softwareanwendungen, um eine umfassende Bildanalyse und Fehlerklassifizierung zu ermöglichen. Es enthält eine umfassende Suite von fortschrittlichen optischen Werkzeugen zur Fehlercharakterisierung, wie Fehlerklassifizierung, Kantenerkennung und Polaritätsanalyse. Es enthält auch eine Vielzahl von statistischen und Visualisierungswerkzeugen, die nützliche Maßnahmen der Fehlerverteilung bieten. TENCOR 2131 Inspektionsbestandteil bietet hohe Produktivität und Präzision, mit schneller Fehlererkennung und Fehlerklassifizierung, um Fehler genau einzuordnen und zu melden. Die fortschrittliche Software wurde für eine einfache Bedienung entwickelt und bietet eine grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Daten schnell und einfach überwachen, analysieren und überprüfen können. Insgesamt ist 2131 ein leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das hochauflösende Bildgebung, erweiterte Bildanalyse und Fehlerklassifizierung sowie überlegene Softwarefunktionen bietet. Die Kombination aus fortschrittlichen optischen und Softwaretechnologien macht es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für die Halbleiterinspektion.
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