Gebraucht KLA / TENCOR 2131 #9404524 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2131 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Halbleiterherstellungsprozesse. Es kann sowohl für optische als auch für die Düsen-Messtechnik verwendet werden. Das System nutzt zwei Arbeitsplätze, eine für die Ausrichtung und die andere für die Endkontrolle. Die Ausrichtungsarbeitsstation beherbergt zwei Ausrichtungsmodule, ein Selbstausrichtungsmodul und ein automatisiertes Ausrichtungsmodul. Das Selbstausrichtungsmodul verwendet fortgeschrittene Bildanalysetechniken, um den Wafer selbst an das erforderliche Muster auszurichten. Das automatisierte Ausrichtungsmodul verwendet programmierte Masken, um den Wafer zu identifizieren und auszurichten. Die Endprüfstation ist mit mehreren Sensoren ausgestattet, die sowohl Muster als auch Defekte messen. Zu diesen Sensoren gehören ein optisches Mikroskop-Array, ein Röntgen-, Elektronenmikroskop und ein CMOS-Sensor. Das Gerät weist außerdem ein einziges Fehlerklassifizierungsmodul auf, das mehrere Fehler gleichzeitig messen kann. Die Maschine verfügt über eine hohe Inspektionsgeschwindigkeit mit bis zu 10.000 Wafern pro Stunde und eignet sich somit für eine serienreiche Umgebung. Darüber hinaus kann es genaue Ausbeuten von 80% und mehr erfassen, so dass es in einer Vielzahl von Prozessbedingungen verwendet werden kann. Das Werkzeug ist auch in der Lage, die Messungen zu analysieren und automatisch Durchlauf- oder Fehlerergebnisse zu liefern, was eine schnellere Prozessumrüstung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine intuitive benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. KLA 2131 ist ein wesentliches Werkzeug für die hochpräzise Masken- und Waferinspektion. Seine hohe Geschwindigkeit, hohe Genauigkeit und intuitive Benutzeroberfläche macht es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet. Ob für Kleinserien oder Großserien, TENCOR 2131 kann zur Optimierung der Prüfergebnisse und zur Verbesserung des Ertrags beitragen.